[发明专利]具有组合的面内和平行平面结构的传感器

权利要求书

1.一种包括传感器(100；400；500)的装置，所述传感器用于感测传感器环境的物理参数的大小，其中：

所述传感器包括第一电极(102)、第二电极(302)以及所述第一电极和第二电极之间的材料(202)；

所述材料具有电学性质，所述电学性质的值依赖于所述物理参数的大小；

所述第一电极形成于第一层中，以及所述第二电极形成于与所述第一层不同的第二层中；

所述第一层具有沟槽(112)以及与所述沟槽相邻的隆起部(106)；

所述沟槽具有底壁(116)和侧壁(118)；

所述材料位于所述底壁上、所述侧壁上以及所述隆起部的顶部上；

所述沟槽容纳所述第二电极的至少一部分；以及

所述第二电极暴露出在所述隆起部的顶部上形成的材料(304、306、380；402、404、406、408、410、412)。

2.根据权利要求1所述的装置(400)，其中所述材料形成为所述沟槽和隆起部上多个在空间上分离开的带状部。

3.根据权利要求1或2所述的装置(500)，其中所述隆起部顶部上的材料具有一个或多个槽(502、504)或者孔。

4.根据权利要求1、2或3所述的装置，其中：

所述传感器配置为电容性传感器；

所述物理参数是湿度；以及

所述材料包括以下至少之一：金属氧化物、SiO₂、SiC、聚酯、聚甲基丙烯酸甲酯、苯并环丁烯、聚硫化物、乙酸丁酸纤维素、多孔硅和氮化硅。

5.根据权利要求1、2、3或4所述的装置，包括容纳所述传感器的收发机。