[发明专利]具有实时在线IV测量的卷对卷连续式薄膜PV制造工艺及设备无效
| 申请号： | 200980131115.1 | 申请日： | 2009-08-04 |
| 公开（公告）号： | CN102113092A | 公开（公告）日： | 2011-06-29 |
| 发明（设计）人： | 阿罗西·威吉;曹新民;布拉德利·S·莫林 | 申请（专利权）人： | 美国迅力光能公司 |
| 主分类号： | H01L21/205 | 分类号： | H01L21/205;H01L31/045 |
| 代理公司： | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人： | 孙仿卫 |
| 地址： | 美国俄*** | 国省代码： | 美国;US |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供了用于卷对卷连续式制备光伏(PV)电池的装置及方法。装置包括卷对卷的复卷传送腔室，一个或多个沉积腔室，一个气压差分工艺隔离单元，以及用于获得实时质量监测数据的腔室，这些监测数据包括IV数据、良率数据和均匀性数据。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 实时 在线 iv 测量 连续 薄膜 pv 制造 工艺 设备 | ||
【主权项】：
一种真空沉积装置，包括：一基板载入腔室和一基板复卷腔室；一基板支撑系统，从基板载入腔室延伸至基板复卷腔室；一高气压真空沉积腔室；一低气压真空沉积腔室；及一气压差分工艺隔离单元(DPIU)，其安置在该高气压真空沉积腔室与该低气压真空沉积腔室之间。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
