[发明专利]具有包括非晶材料的膜的压力传感器有效

专利信息
申请号: 200980125156.X 申请日: 2009-04-20
公开(公告)号: CN102084232A 公开(公告)日: 2011-06-01
发明(设计)人: Y·温克勒;F·梅伊兰;J·格鲁普 申请(专利权)人: 斯沃奇集团研究及开发有限公司
主分类号: G01L7/08 分类号: G01L7/08;G04B47/06;G04G1/04
代理公司: 中国专利代理(香港)有限公司 72001 代理人: 张群峰
地址: 瑞士*** 国省代码: 瑞士;CH
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摘要: 发明涉及一种压力传感器(6)。所述压力传感器(6)包括与传输装置(10)协作的柔性膜(11),其中所述传输装置允许根据所述膜(11)的形变来提供表示压力的数值。所述膜(11)由至少部分非晶的材料制成,以优化所述传感器(6)的尺寸。
搜索关键词: 具有 包括 材料 压力传感器
【主权项】:
一种压力传感器(6),包括柔性膜(11),其中所述膜与传输装置(10)协作,所述传输装置允许根据所述膜(11)的形变来提供表示压力的数值,所述膜(11)由至少部分非晶的金属合金制成,以优化所述传感器的尺寸;所述压力传感器的特征在于,所述金属合金包括至少一种贵重类型的、包括在包含金、铂、钯、铼、钌、铑、银、铱或锇的列表中的元素。
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