[发明专利]具有包括非晶材料的膜的压力传感器

权利要求书

1.一种压力传感器(6)，包括柔性膜(11)，其中所述膜与传输装置(10)协作，所述传输装置允许根据所述膜(11)的形变来提供表示压力的数值，所述膜(11)由至少部分非晶的金属合金制成，以优化所述传感器的尺寸；所述压力传感器的特征在于，所述金属合金包括至少一种贵重类型的、包括在包含金、铂、钯、铼、钌、铑、银、铱或锇的列表中的元素。

2.如权利要求1所述的压力传感器，其特征在于，所述膜(11)由完全非晶的材料制成。

3.如权利要求1或2所述的压力传感器，其特征在于，所述材料的弹性极限和杨氏模量的比值大于0.01。

4.如权利要求3所述的压力传感器，其特征在于，所述材料具有大于50GPa的杨氏模量。

5.如上述权利要求中任一项所述的压力传感器，其特征在于，所述材料不释放变应原元素。

6.如上述权利要求中任一项所述的压力传感器，其特征在于，所述膜(11)大致为盘状的，并且通过其周边固定在所述传感器(6)上。

7.如上述权利要求中任一项所述的压力传感器，其特征在于，所述膜(11)具有非直线的截面，以增大其形变面积。

8.如权利要求7所述的压力传感器，其特征在于，所述膜(11)包括至少一个正弦部分。

9.一种手表，其特征在于，所述手表包括如权利要求1至8中任一项所述的压力传感器(6)。

10.如权利要求9所述的手表，其特征在于，所述手表另外包括用于将所述表示压力的数值转换为深度值的装置，允许所述手表执行深度计功能。