[发明专利]耐热性树脂前体及使用其的感光性树脂组合物有效
| 申请号： | 200980124615.2 | 申请日： | 2009-06-24 |
| 公开（公告）号： | CN102076740A | 公开（公告）日： | 2011-05-25 |
| 发明（设计）人： | 金田隆行;佐佐木由香;丹羽基博 | 申请（专利权）人： | 旭化成电子材料株式会社 |
| 主分类号： | C08G73/22 | 分类号： | C08G73/22;G03F7/004;G03F7/023;G03F7/075;G03F7/40 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;李茂家 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： |
本发明提供一种新型碱可溶性树脂，其在制成感光性树脂组合物时，为高灵敏度，能够通过半导体装置的制造工序中通常使用的显影液(2.38重量％四甲基氢氧化铵水溶液)来形成图案，固化后的耐热性膜的机械强度优异，即玻璃化转变温度高，显影后的浮雕图案在丙二醇单甲醚中的溶解性优异。本发明所述的碱可溶性树脂在分子内具有下述通式(1)所示的结构，式(1)中，X1表示含有卤素原子的4价有机基团，Z1表示下述通式(2)所示的2价有机基团，并且m1表示1～200的整数；式(2)中，L1和L2在存在多个时分别独立地表示甲基或羟基，并且n1和n2表示0～3的整数。 |
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| 搜索关键词： | 耐热性 树脂 使用 感光性 组合 | ||
【主权项】：
1.一种碱可溶性树脂，其分子内具有下述通式(1)所示的结构，[化学式1]![]()
式中，X1表示含有卤素原子的4价有机基团，Z1表示下述通式(2)所示的2价有机基团，并且m1表示1～200的整数；[化学式2]![]()
式中，L1和L2在存在多个时分别独立地表示甲基或羟基，并且n1和n2表示0～3的整数。
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