[发明专利]耐热性树脂前体及使用其的感光性树脂组合物

权利要求书

1.一种碱可溶性树脂，其分子内具有下述通式(1)所示的结构，

[化学式1]

式中，X₁表示含有卤素原子的4价有机基团，Z₁表示下述通式(2)所示的2价有机基团，并且m₁表示1～200的整数；

[化学式2]

式中，L₁和L₂在存在多个时分别独立地表示甲基或羟基，并且n₁和n₂表示0～3的整数。

2.根据权利要求1所述的碱可溶性树脂，其分子内具有下述通式(3)所示的结构，

[化学式3]

式中，X₁表示含有卤素原子的4价有机基团，X₂表示不含有卤素原子的4价有机基团，Z₁表示上述通式(2)所示的2价有机基团，Z₂表示碳原子数3～40的2价有机基团，m₁表示1～200的整数，m₂、m₃和m₄分别独立地表示0～200的整数，其中，设(m₁+m₂+m₃+m₄)为100％时，m₁的摩尔比率m₁/(m₁+m₂+m₃+m₄)为25％以上。

3.根据权利要求1或2所述的碱可溶性树脂，其中，通式(1)或(3)中记载的X₁为下述结构，

[化学式4]

4.根据权利要求2所述的碱可溶性树脂，其中，通式(3)中记载的X₂为下述结构，

[化学式5]

5.根据权利要求2所述的碱可溶性树脂，其中，通式(3)中记载的Z₂为选自由下述结构式(4)组成的组中的结构，

[化学式6]

式中，L₅为选自下述结构式(5)的1价基团，

[化学式7]

式中，L₆表示碳原子数1～4的1价烷基。

6.根据权利要求1或2所述的碱可溶性树脂，其中，通式(1)或通式(3)具有选自由下述结构式(6)组成的组中的至少1个末端基团，

[化学式8]

7.一种正型感光性树脂组合物，其相对于100质量份(A)含有权利要求1或2所述的碱可溶性树脂的碱可溶性树脂，含有1～100质量份(B)感光性重氮萘醌化合物。

8.根据权利要求7所述的正型感光性树脂组合物，其还含有100～2000质量份(C)有机溶剂。

9.根据权利要求7或8所述的正型感光性树脂组合物，其中，(B)感光性重氮萘醌化合物选自由下述通式(7)所示的多羟基化合物的1，2-萘醌二叠氮基-4-磺酸酯、及该多羟基化合物的1，2-萘醌二叠氮基-5-磺酸酯组成的组，

[化学式9]

10.根据权利要求8所述的正型感光性树脂组合物，其中，(C)有机溶剂为γ-丁内酯。

11.根据权利要求7所述的正型感光性树脂组合物，其还含有0.01～20质量份(D)烷氧基硅烷化合物。