[发明专利]含稀土元素的玻璃材料和基板以及包括这种基板的器件有效

专利信息
申请号: 200980124360.X 申请日: 2009-05-13
公开(公告)号: CN102066273A 公开(公告)日: 2011-05-18
发明(设计)人: P·S·丹尼尔森;M·J·德杰纳卡;A·J·埃利森;T·J·基克辛斯基 申请(专利权)人: 康宁股份有限公司
主分类号: C03C3/095 分类号: C03C3/095
代理公司: 上海专利商标事务所有限公司 31100 代理人: 沙永生;周承泽
地址: 美国*** 国省代码: 美国;US
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摘要: 一种含稀土的玻璃材料,按照以氧化物为基准的摩尔百分数表示,该材料具有包含以下组分的组成:SiO2:66-75,Al2O3:11-17,B2O3:0-4,MgO:1-6.5,CaO:2-7,SrO:0-4,BaO:0-4,Y2O3:0-4,La2O3:0-4,Y2O3+La2O3:0.1-4。该组成中包含Y2O3和/或La2O3能降低玻璃的T2.3,因此能够制造较高退火点的玻璃。这种玻璃特别能用于低温多晶硅基半导体器件。
搜索关键词: 稀土元素 玻璃 材料 以及 包括 这种 器件
【主权项】:
一种含稀土的玻璃材料,按照以氧化物为基准的摩尔百分数表示,该材料具有包含以下组分的组成:SiO2:66‑75Al2O3:11‑17B2O3:0‑4MgO:1‑6.5CaO:2‑7SrO:0‑4BaO:0‑4Y2O3:0‑4La2O3:0‑4Y2O3+La2O3:0.1‑4.
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