[发明专利]含稀土元素的玻璃材料和基板以及包括这种基板的器件有效
| 申请号: | 200980124360.X | 申请日: | 2009-05-13 |
| 公开(公告)号: | CN102066273A | 公开(公告)日: | 2011-05-18 |
| 发明(设计)人: | P·S·丹尼尔森;M·J·德杰纳卡;A·J·埃利森;T·J·基克辛斯基 | 申请(专利权)人: | 康宁股份有限公司 |
| 主分类号: | C03C3/095 | 分类号: | C03C3/095 |
| 代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人: | 沙永生;周承泽 |
| 地址: | 美国*** | 国省代码: | 美国;US |
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| 摘要: | 一种含稀土的玻璃材料,按照以氧化物为基准的摩尔百分数表示,该材料具有包含以下组分的组成:SiO2:66-75,Al2O3:11-17,B2O3:0-4,MgO:1-6.5,CaO:2-7,SrO:0-4,BaO:0-4,Y2O3:0-4,La2O3:0-4,Y2O3+La2O3:0.1-4。该组成中包含Y2O3和/或La2O3能降低玻璃的T2.3,因此能够制造较高退火点的玻璃。这种玻璃特别能用于低温多晶硅基半导体器件。 | ||
| 搜索关键词: | 稀土元素 玻璃 材料 以及 包括 这种 器件 | ||
【主权项】:
一种含稀土的玻璃材料,按照以氧化物为基准的摩尔百分数表示,该材料具有包含以下组分的组成:SiO2:66‑75Al2O3:11‑17B2O3:0‑4MgO:1‑6.5CaO:2‑7SrO:0‑4BaO:0‑4Y2O3:0‑4La2O3:0‑4Y2O3+La2O3:0.1‑4.
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