[发明专利]感光性树脂组合物、固化浮雕图案的制造方法和半导体装置

摘要

本发明提供一种环化树脂形成时的固化时残膜率较高、高灵敏度的、具有正型光刻性能的感光性树脂组合物，使用了该感光性树脂组合物的固化浮雕图案的制造方法、以及具有该固化浮雕图案而成的半导体装置。本发明的感光性树脂组合物包含：(A)具有特定的前体结构的碱性水溶液可溶性聚合物100质量份；(B)光产酸剂1～50质量份；以及(C)在羧基的α位具有至少1个选自由羟基、醚基和酯基构成的组中的官能团的碳原子数8以上的一元羧酸化合物5～20质量份。

主权项

1.一种感光性树脂组合物，其包含：(A)具有选自由下述通式(1)所示的结构和下述通式(2)所示的结构构成的组中的至少1种结构的碱性水溶液可溶性聚合物100质量份，式(1)中，X₁和Y₁分别独立地表示具有至少2个碳原子的2～4价的有机基团，R₁和R₂分别独立地表示氢原子或碳原子数1～10的烃基，n₁、n₂、n₃和n₄分别独立地为0～2的整数，n₁+n₂+n₃+n₄＞0，并且m₁为1～1000的整数，式(2)中，X₂和Y₂分别独立地表示具有至少2个碳原子的4价的有机基团，并且m₂为1～1000的整数；(B)光产酸剂1～50质量份；以及(C)在羧基的α位具有至少1个选自由羟基、醚基和酯基构成的组中的官能团的碳原子数8以上的一元羧酸化合物5～20质量份。