[发明专利]感光性树脂组合物、固化浮雕图案的制造方法和半导体装置

权利要求书

1.一种感光性树脂组合物，其包含：

(A)具有选自由下述通式(1)所示的结构和下述通式(2)所示的结构构成的组中的至少1种结构的碱性水溶液可溶性聚合物100质量份，

式(1)中，X₁和Y₁分别独立地表示具有至少2个碳原子的2～4价的有机基团，R₁和R₂分别独立地表示氢原子或碳原子数1～10的烃基，n₁、n₂、n₃和n₄分别独立地为0～2的整数，n₁+n₂+n₃+n₄＞0，并且m₁为1～1000的整数，

式(2)中，X₂和Y₂分别独立地表示具有至少2个碳原子的4价的有机基团，并且m₂为1～1000的整数；

(B)光产酸剂1～50质量份；以及

(C)在羧基的α位具有至少1个选自由羟基、醚基和酯基构成的组中的官能团的碳原子数8以上的一元羧酸化合物5～20质量份。

2.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物，其中，所述(B)光产酸剂为具有二叠氮基萘醌结构的化合物。

3.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物，其中，所述(C)一元羧酸化合物为选自由下述通式(3)表示且碳原子数8～30的化合物构成的组中的至少1种化合物，

式(3)中，R₁表示有机基团，R₂表示具有至少1个选自由氢原子和烷基构成的组中的结构的基团，并且Z₁表示具有至少1个选自由羟基、醚基和酯基构成的组中的官能团的基团。

4.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物，其中，所述(C)一元羧酸化合物为选自由下述通式(4)所示且碳原子数8～30的化合物构成的组中的至少1种化合物，

式(4)中，R₃表示具有至少1个选自由氢原子和烷基构成的组中的结构的基团，R₄表示具有至少1个选自由氢原子、烷基和羰基构成的组中的结构的基团，Z₂表示羟基或有机基团，n₅为0～5的整数，并且Z₂存在多个时彼此相同或不同。

5.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物，其中，所述(A)碱性水溶液可溶性聚合物中的所述通式(1)所示的结构具有由下述通式(5)所示的结构，

式(5)中，X₁表示具有至少2个碳原子的2～4价的有机基团，R₁表示氢原子或碳原子数1～10的烃基，n₁和n₃分别独立地为0～2的整数，m₁为1～1000的整数，L₁、L₂和L₃分别独立地表示氢原子或甲基，并且L₄表示氢原子、甲基或羟基。

6.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物，其中，所述(A)碱性水溶液可溶性聚合物中的所述通式(1)所示的结构具有由下述通式(6)所示的结构，

式(6)中，X₃表示选自由单键和下述式(7)所示的结构构成的组中的至少1种结构，L₁、L₂和L₃分别独立地表示氢原子或甲基，L₄表示氢原子、甲基或羟基，并且m₁为1～1000的整数。

7.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物，其中，所述(A)碱性水溶液可溶性聚合物中的所述通式(2)所示的结构，在分子内具有选自由下述通式(8)所示的结构和下述通式(9)所示的结构构成的组中的至少1种聚酰亚胺结构，

式(8)和式(9)中，X₄表示选自由单键和下述式(7)所示的结构构成的组中的至少1种结构，并且m₂为1～1000的整数。