[发明专利]涂敷的和平面化的聚合物膜无效
| 申请号： | 200980113580.2 | 申请日： | 2009-04-17 |
| 公开（公告）号： | CN102007173A | 公开（公告）日： | 2011-04-06 |
| 发明（设计）人： | 雷蒙德·阿达姆;罗伯特·W·伊夫森;威廉·A·麦克唐纳 | 申请（专利权）人： | 杜邦帝人薄膜美国有限公司 |
| 主分类号： | C08J7/18 | 分类号： | C08J7/18;B29C55/04;C08J5/00;H01L51/52;H01K3/00 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 李丙林;张英 |
| 地址： | 美国弗*** | 国省代码： | 美国;US |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种复合膜，包括聚合物衬底和平面化涂敷层，其中所述平面化衬底的表面呈现出小于0.7nm的Ra值和/或小于0.9nm的Rq值，并且其中所述复合膜进一步包括通过原子层沉积在衬底的平面化表面上沉积的气体透过阻挡层；包括所述复合膜的电子器件；以及用于生产该复合膜的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 平面化 聚合物 | ||
【主权项】：
一种复合膜，包括聚合物衬底和平面化涂敷层，其中，所述平面化衬底的表面呈现出小于0.7nm的Ra值和/或小于0.9nm的Rq值，并且其中所述复合膜进一步包括通过原子层沉积在所述衬底的平面化表面上沉积的气体透过阻挡层。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于杜邦帝人薄膜美国有限公司，未经杜邦帝人薄膜美国有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200980113580.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：单元式窗帘
- 下一篇：用于焊接设备的软管包
