[发明专利]用于收集作业中产生的杂质的真空泵吸滤装置无效
| 申请号： | 200980112742.0 | 申请日： | 2009-02-09 |
| 公开（公告）号： | CN102006939A | 公开（公告）日： | 2011-04-06 |
| 发明（设计）人： | 亚达帕丽·空达拉·姚 | 申请（专利权）人： | 亚达帕丽·空达拉·姚 |
| 主分类号： | B03C3/017 | 分类号： | B03C3/017;B03C3/09 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 张诗琼;冯铁惠 |
| 地址： | 印度马哈*** | 国省代码： | 印度;IN |
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| 摘要： | 本发明涉及一种方法和系统，来自待排空对象的流体流在其进入真空泵之前被过滤，过滤的最大纯度达99％，粒子大小达0.3微米，具有最小的压降，从而改善泵的寿命和系统的处理性能。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 收集 作业 产生 杂质 真空泵 装置 | ||
【主权项】：
一种真空泵系统，包括：一个位于真空管线上的单级/双级静电除尘部件，其流向是向着各种真空泵，所述真空泵目的是在意图的主要对象中创造真空，一个过滤器适用于所有真空度能达到1×10‑6Torr的各种类型的真空泵；所述过滤器，其过滤空气的效率为99％，过滤精度达0.3微米w/w；所述过滤器，用于减少80％以上的化学烟尘和溶剂。
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