[发明专利]用于收集作业中产生的杂质的真空泵吸滤装置

权利要求书

1.一种真空泵系统，包括：

一个位于真空管线上的单级/双级静电除尘部件，其流向是向着各种真空泵，所述真空泵目的是在意图的主要对象中创造真空，一个过滤器适用于所有真空度能达到1×10^-6Torr的各种类型的真空泵；

所述过滤器，其过滤空气的效率为99％，过滤精度达0.3微米w/w；

所述过滤器，用于减少80％以上的化学烟尘和溶剂。

2.如权利要求1所述的真空泵系统，其中安装有两个或多个串联的过滤器，以在过滤过程中实现99.99％的纯度。

3.如权利要求1和2所述的真空泵系统，其中向过滤器供电的装置通过馈通部连接传输高压电，采用玻璃-金属密封、陶瓷-金属密封、橡胶-金属密封以达到高达1×10^-6Torr的真空度。

4.如权利要求1-3所述的真空泵系统，其中包括过滤器壳体，该壳体优选由低碳钢、碳钢、不锈钢、铬镍铁合金、哈斯特合金组成，在高达1×10^-6Torr真空度下能实现可靠密封。

5.如权利要求1-4所述的真空泵系统，其中过滤器由正电极和负电极顺序组成，正电极和负电极材料为铝、钢、不锈钢、铬镍铁合金、哈斯特合金。

6.如权利要求1-5所述的真空泵系统，其中在电极的端部之间维持相等的距离，电极的端部用由塑料、橡胶、特氟纶或陶瓷组成的具有高介电强度的材料覆盖。

7.如权利要求1-6所述的真空泵系统，其中通过过滤器到真空泵的蒸汽的优选速度是每秒0.1米-2.0米。

8.如权利要求1-7所述的真空泵系统，包括过滤器壳体，该壳体被电气接地，以获得最大的收集面积，从而提高和扩大收集面积和安全性。

9.如权利要求1-8所述的真空泵系统，其中在电离区与收集区之间设置有具有接地连接的罐状、阱状或壶状的收集装置，用于提高流体滴的收集量，使收集的流体能安全而容易地保持或排出。

10.如权利要求1-9所述的真空泵系统，所述过滤器的方向为垂直朝向，以用于较大尺寸，方便手动操作，在底部具有入口连接，顶部具有出口连接。

11.如权利要求1-11所述的真空泵系统，应用于扩散型真空泵的情况下，能避免98％以上的油回流。

12.如权利要求1-11所述的真空泵系统，其中包含沿流方向并联的电离区正/电晕放电电极，用于延长电离时间和改善过滤效率。

13.如权利要求1-12所述的真空泵系统，其中在顶部具有在线清洁位置，并从底部排泄。

14.如权利要求1-13所述的真空泵系统，其中嵌入有一个系统，该系统具有防火防爆板、固件、和自动真空压力控制器系统，用于所有防火环境和区域。

15.如权利要求1-14所述的真空泵系统，其中真空压力传感器连接部可以位于过滤器上，也可以位于真空处理室上。

16.如权利要求1-15所述的真空泵系统，其中真空压力传感器是双传感器，将两个传感器串联连接，来测量真空和控制过滤器，以在防火和防爆环境下实现过滤器的更安全操作。