[发明专利]碱产生剂、感光性树脂组合物、包含该感光性树脂组合物的图案形成用材料、使用了该感光性树脂组合物的图案形成方法以及物品有效
| 申请号： | 200980111428.0 | 申请日： | 2009-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN101981154A | 公开（公告）日： | 2011-02-23 |
| 发明（设计）人： | 片山麻美;福田俊治;坂寄胜哉 | 申请（专利权）人： | 大日本印刷株式会社 |
| 主分类号： | C09K3/00 | 分类号： | C09K3/00;C08G73/10;C08G73/22;G03F7/004;G03F7/038;H01L21/027 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 张宝荣 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： |
本发明涉及一种碱产生剂，其用下述化学式(1)表示，且通过电磁波的照射和加热而产生碱。本发明为灵敏度优异且不管高分子母体的种类如何均可以利用的碱产生剂，含有本发明的碱产生剂的感光性树脂组合物可以在曝光部和未曝光部得到大的溶解性对比度，从而得到形状良好的图案。 |
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| 搜索关键词： | 产生 感光性 树脂 组合 包含 图案 形成 用材 使用 方法 以及 物品 | ||
【主权项】：
1.一种碱产生剂，其特征在于，用下述化学式(1)表示，且通过电磁波的照射和加热而产生碱，化学式(1)![]()
化学式(1)中，R1及R2分别独立地为氢或1价有机基团，它们可以相同或不同，R1及R2可以结合而形成环状结构，也可以包含杂原子的结合键，其中，R1及R2中的至少1个为1价有机基团，R3、R4、R5及R6分别独立地为氢、卤素、羟基、硝基、亚硝基、巯基、甲硅烷基、硅烷醇基或1价有机基团，它们可以相同或不同，R3、R4、R5及R6中的2个以上可以结合而形成环状结构，也可以包含杂原子的结合键。
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