[发明专利]碱产生剂、感光性树脂组合物、包含该感光性树脂组合物的图案形成用材料、使用了该感光性树脂组合物的图案形成方法以及物品

权利要求书

1.一种碱产生剂，其特征在于，用下述化学式(1)表示，且通过电磁波的照射和加热而产生碱，

化学式(1)

化学式(1)中，R¹及R²分别独立地为氢或1价有机基团，它们可以相同或不同，R¹及R²可以结合而形成环状结构，也可以包含杂原子的结合键，其中，R¹及R²中的至少1个为1价有机基团，R³、R⁴、R⁵及R⁶分别独立地为氢、卤素、羟基、硝基、亚硝基、巯基、甲硅烷基、硅烷醇基或1价有机基团，它们可以相同或不同，R³、R⁴、R⁵及R⁶中的2个以上可以结合而形成环状结构，也可以包含杂原子的结合键。

2.如权利要求1所述的碱产生剂，其特征在于，产生的碱为具有1个能够形成酰胺键的仲胺基的仲胺和/或杂环化合物。

3.如权利要求1或2所述的碱产生剂，其中，在上述化学式(1)中，R³、R⁴、R⁵及R⁶中的至少1个为卤素、羟基、硝基、亚硝基、巯基、甲硅烷基、硅烷醇基或1价有机基团，或者R³、R⁴、R⁵及R⁶中的2个以上结合且与结合有R³、R⁴、R⁵及R⁶的苯环形成稠环。

4.如权利要求1～3中任一项所述的碱产生剂，其特征在于，所产生的碱的沸点为25℃以上，并且在350℃时减少的重量为80％以上。

5.如权利要求1～4中任一项所述的碱产生剂，其中，所产生的碱的结构为下述化学式(2)所示的碱产生剂，

化学式(2)

化学式(2)中，R¹及R²分别独立地为1价有机基团、可有取代基团且碳数为1～10的烷基或可以具有取代基的碳数为4～12的环烷基，R¹及R²可以相同或不同，R¹及R²可以结合而形成环状结构，也可以包含杂原子的结合键。

6.如权利要求1～5中任一项所述的碱产生剂，其特征在于，在365nm、405nm、436nm的电磁波的波长中的至少一个波长处具有吸收。

7.一种感光性树脂组合物，其特征在于，含有通过碱性物质或通过在碱性物质存在下的加热而促进向最终产物反应的高分子母体、以及上述权利要求1～6中任一项所述的碱产生剂。

8.如权利要求7所述的感光性树脂组合物，其特征在于，所述高分子母体含有选自由具有环氧基、异氰酸酯基、氧杂环丁烷基或硫杂环丙烷基的化合物及高分子、聚硅氧烷母体、聚酰亚胺母体以及聚苯并噁唑母体构成的组中的1种以上。

9.如权利要求7或8所述的感光性树脂组合物，其特征在于，所述高分子母体可溶于碱性溶液。

10.如权利要求7～9中任一项所述的感光性树脂组合物，其特征在于，所述高分子母体为聚酰亚胺母体或聚苯并噁唑母体。

11.如权利要求7～10中任一项所述的感光性树脂组合物，其用作涂料、印刷油墨、密封剂或胶粘剂、或者显示装置、半导体装置、电子部件、微机电系统、光照成型物、光学元件或建筑材料的形成材料。

12.一种图案形成用材料，其含有上述权利要求7～11中任一项所述的感光性树脂组合物。

13.一种图案形成方法，其特征在于，使用上述权利要求7～11中任一项所述的感光性树脂组合物形成涂膜或成型体，再对该涂膜或成型体以规定图案形状照射电磁波，在照射后或在照射的同时进行加热，使所述照射部位的溶解性发生变化后再进行显影。

14.一种物品，其是印刷物、涂料、密封剂、胶粘剂、显示装置、半导体装置、电子部件、微机电系统、光照成型物、光学元件或建筑材料中的任一种，并且至少一部分由上述权利要求7～11中任一项所述的感光性树脂组合物或其固化物形成。