[发明专利]使用可程序化的脉冲形状的激光微加工无效

专利信息
申请号: 200980110805.9 申请日: 2009-03-27
公开(公告)号: CN101981768A 公开(公告)日: 2011-02-23
发明(设计)人: 彭晓原;布莱恩·W.·拜耳德;威廉·J.·乔丹;大卫·马汀·海明威 申请(专利权)人: 伊雷克托科学工业股份有限公司
主分类号: H01S3/10 分类号: H01S3/10;H01S3/00
代理公司: 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 代理人: 许静
地址: 美国俄*** 国省代码: 美国;US
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摘要: 一种激光脉冲成形技术产生了经剪裁激光脉冲频谱输出(64、66)。该等激光脉冲可以被程序化,以具有所希的脉冲宽度与脉冲形状(例如:次奈秒至10奈秒-20奈秒的脉冲宽度,而具有1奈秒至数奈秒的前缘上升时间)。较佳实施例是以一或更多个电光调变器(250、254)来执行,用以接收驱动讯号,而选择地改变入射脉冲激光放射的数量(106、112、114),以形成经剪裁脉冲输出。触发来自该脉冲激光放射的该驱动讯号,以抑制与连接处理系统的其它级有关的扰动,且实质上去除与脉冲激光放射建立时间有关的扰动。
搜索关键词: 使用 程序化 脉冲 形状 激光 加工
【主权项】:
一种发射经剪裁脉冲输出的动态激光脉冲成形产生器,包括:一脉冲激光源,其产生脉冲激光放射;一光学侦测器,其响应于该脉冲激光放射的发生以产生一侦测器输出讯号;一光学调变器,其与该脉冲激光源光学地相关,以响应于对该光学调变器所提供的驱动控制输出,而产生该脉冲激光放射的输出传输的多个状态;以及驱动电路,其响应于该侦测器输出讯号与控制指令输出,以产生该驱动控制输出,该侦测器输出讯号同步该输出传输的多个状态的产生、与该脉冲激光放射以及该控制指令输出的发生,以提供该脉冲激光放射的输出传输的多个状态的产生序列,以形成显现经剪裁时间脉冲轮廓的一抑制扰动的经剪裁脉冲输出。
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