[发明专利]使用可程序化的脉冲形状的激光微加工

权利要求书

1.一种发射经剪裁脉冲输出的动态激光脉冲成形产生器，包括：

一脉冲激光源，其产生脉冲激光放射；

一光学侦测器，其响应于该脉冲激光放射的发生以产生一侦测器输出讯号；

一光学调变器，其与该脉冲激光源光学地相关，以响应于对该光学调变器所提供的驱动控制输出，而产生该脉冲激光放射的输出传输的多个状态；以及

驱动电路，其响应于该侦测器输出讯号与控制指令输出，以产生该驱动控制输出，该侦测器输出讯号同步该输出传输的多个状态的产生、与该脉冲激光放射以及该控制指令输出的发生，以提供该脉冲激光放射的输出传输的多个状态的产生序列，以形成显现经剪裁时间脉冲轮廓的一抑制扰动的经剪裁脉冲输出。

2.如权利要求1的动态激光脉冲成形产生器，其中该驱动电路接收第一与第二输入讯号，以产生该驱动控制输出，该第一输入讯号造成：该光学调变器产生该脉冲激光放射的较低与较高输出传输状态间的一第一转换，以及该第二输入讯号造成：该光学调变器产生了从该脉冲激光放射的该较高输出传输状态至一中间输出传输状态的一第二转换，其中，该中间输出传输状态是在该脉冲激光放射的该较高与较低输出传输状态之间。

3.如权利要求2的动态激光脉冲成形产生器，其中该光学调变器为一种显现电容的型式，且更包括电阻，其被设置来影响该驱动控制输出对该光学调变器的应用，该电容与该电阻配合以成形该第一与该第二输出传输状态转换中的至少一个。

4.如权利要求3的动态激光脉冲成形产生器，其中该光学调变器为一种Pockels单元型式。

5.如权利要求4的动态激光脉冲成形产生器，其中该Pockels单元包括由下列所选出的晶体材料：KDP、KD*P、ADP、AD*P、RTP、RTA、BBO、或LiNbO₃的电光材料。

6.如权利要求1的动态激光脉冲成形产生器，其中该侦测器输出讯号与该控制指令输出具有讯号位准，且更包括一比较器与时间延迟电路，产生一触发讯号与该触发讯号的一时间位移版本，其各显示在该侦测器输出讯号与该控制指令输出的该讯号位准间的比较关系，以造成该脉冲激光放射的输出传输的多个状态的产生。

7.如权利要求6的动态激光脉冲成形产生器，其中该时间延迟电路包括一可程序化的时间延迟，以提供该触发讯号的可选择的时间位移。

8.如权利要求1的动态激光脉冲成形产生器，其中该控制指令输出包括第一与第二指令讯号，其中，该侦测器输出讯号和该第一与该第二指令讯号具有该讯号位准，并且更包括比较器电路，以产生一第一触发讯号与该第一触发讯号的时间位移版本，该第一触发讯号显示了在该侦测器输出讯号与该第一指令讯号的该讯号位准间的比较关系，而在当该侦测器输出讯号位准超过该第一指令讯号位准为发生时，会造成由该光学调变器产生该脉冲激光放射的输出传输的多个状态的第一个，且该第一触发讯号的该时间位移版本显示了在该侦测器输出讯号与该第二指令讯号的该讯号位准间的比较关系，而在当该侦测器输出讯号位准超过该第二指令位准为发生时，会造成由该光学调变器产生该脉冲激光放射的输出传输的多个状态的第二个，该第二个的多个状态是发生在该第一个的多个状态之后的时间。

9.如权利要求1的动态激光脉冲成形产生器，其中该驱动电路包括一第一与一第二调变驱动器，以及该驱动控制输出包括在各个第一与第二调变驱动器的输出所产生的一第一与一第二驱动控制讯号，其中，该光学调变器构成一第一光学调变器，且更包括：

一第二光学调变器，其与一第一光学模块光学地相关，该第一与第二光学调变器响应于各个第一与该第二驱动控制讯号；以及

比较器与时间延迟电路，其响应于该侦测器输出讯号，而依序地产生该第一与一第二驱动控制讯号，以产生该脉冲激光放射的输出传输的多个状态。