[发明专利]包括吸气剂泵和离子泵的组合式抽气系统有效
| 申请号： | 200980109641.8 | 申请日： | 2009-03-26 |
| 公开（公告）号： | CN101978463A | 公开（公告）日： | 2011-02-16 |
| 发明（设计）人： | M·L·费里斯;A·孔特 | 申请（专利权）人： | 工程吸气公司 |
| 主分类号： | H01J41/00 | 分类号： | H01J41/00 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 林振波 |
| 地址： | 意大*** | 国省代码： | 意大利;IT |
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| 摘要： | 本发明涉及一种组合式抽气系统(10)，包括吸气剂泵(12)和离子泵(13)。所述吸气剂泵和离子泵(12、13)安装在同一法兰(11)上并且设置在所述法兰(11)同侧的两个不同点处。 | ||
| 搜索关键词： | 包括 吸气 离子 组合式 系统 | ||
【主权项】：
一种组合式抽气系统(10)，包括吸气剂泵(12)和离子泵(13)，其特征在于，所述吸气剂泵和离子泵(12、13)安装在同一法兰(11)上，并且设置在所述法兰(11)同侧的两个不同点处。
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