[发明专利]包括吸气剂泵和离子泵的组合式抽气系统

权利要求书

1.一种组合式抽气系统(10)，包括吸气剂泵(12)和离子泵(13)，其特征在于，所述吸气剂泵和离子泵(12、13)安装在同一法兰(11)上，并且设置在所述法兰(11)同侧的两个不同点处。

2.根据权利要求1所述的系统，其中，离子泵(13)运行所需的磁体(136)设置在形成于所述法兰(11)上的座中，并且处于当所述抽气系统(10)连接到真空室时所述法兰(11)的在真空室外的一侧上。

3.根据权利要求1或2所述的系统，其中，所述磁体(136)是永久型并且具有钐-钴或者铁-硼-钕成分。

4.根据权利要求1所述的系统，其中，离子泵(13)运行所需的磁体(236)设置在当所述抽气系统(10)连接到真空室时所述法兰(11)的在所述真空室内的一侧上。

5.根据权利要求4所述的系统，其中，所述磁体(236)是永久型的并且具有高于350℃的居里点。

6.根据权利要求4或5所述的系统，其中，所述磁体(236)是永久型的并且具有的成分按重量百分比为：8-12％的铝、15-26％的镍、5-24％的钴，可能添加的较小百分比的铜和钛，所述成分的余量由铁组成。

7.根据前述权利要求中任一项所述的系统，其中，所述吸气剂泵(12)是由堆叠在中心支持件(122)上的一系列圆盘(121、121’、...)形成的，所述圆盘(121、121’、...)是由非蒸散型吸气剂材料所制成的。

8.根据前述权利要求中任一项所述的系统，其中，所述离子泵(13)包括两个平面的并且相互平行的、由钛、钽或者钼制成的电极(134、134’；234、234’)，在这两个电极之间设置有至少一个由钛制成的并且具有中空圆柱体形状的阳极元件(131；231)，所述阳极元件(131；231)的轴线垂直于所述电极(134、134’；234、234’)的表面。