[发明专利]用于宽传导套件的方法和设备有效
| 申请号： | 200980108359.8 | 申请日： | 2009-01-08 |
| 公开（公告）号： | CN101971712A | 公开（公告）日： | 2011-02-09 |
| 发明（设计）人： | 安德烈亚斯·菲舍尔 | 申请（专利权）人： | 朗姆研究公司 |
| 主分类号： | H05H1/34 | 分类号： | H05H1/34;H01L21/3065 |
| 代理公司： | 上海胜康律师事务所 31263 | 代理人： | 周文强;李献忠 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 提供一种用于控制等离子体处理室内的气流传导的设备，该等离子体处理室被配置有面对下电极设置的上电极，该下电极适于支撑衬底。该设备包括被配置为包括形成于其中的第一组径向狭槽的接地环。该设备还包括包括至少第一组可折叠约束环和第二组可折叠约束环的约束环装置，该第二组可折叠约束环被配置为可移动地耦合于该第一组可折叠约束环。该设备进一步包括被配置为至少折叠和展开该第一组可折叠约束环和该第二组可折叠约束环以控制穿过该第一组径向狭槽的气流传导在以下两种状态之间的机构：(a)不受阻碍其流，ON状态，以及(b)受阻碍气流，OFF状态。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 传导 套件 方法 设备 | ||
【主权项】：
一种用于控制等离子体处理室内的气流传导的设备，所述等离子体处理室被配置有面对下电极设置的上电极，该下电极适于支撑衬底，所述设备包含：被配置为同心围绕所述下电极的接地环，所述接地环包括形成于其中的第一组径向狭槽；约束环装置，所述约束环装置包括至少第一组可折叠约束环和第二组可折叠约束环，所述第二组可折叠约束环被配置为可移动地耦合于所述第一组可折叠约束环；以及被配置为至少折叠和展开所述第一组可折叠约束环和所述第二组可折叠约束环以控制穿过所述第一组径向狭槽的气流传导在以下两种状态之间的机构：(a)ON状态，其中穿过所述第一组径向狭槽的气流不被所述第二组可折叠约束环阻碍，以及(b)OFF状态，其中穿过所述第一组径向狭槽的所述气流被所述第二组可折叠环阻碍。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于朗姆研究公司，未经朗姆研究公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200980108359.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
