[发明专利]用于抛光覆盖有镍-磷的铝硬磁盘的组合物及方法有效
| 申请号： | 200980107309.8 | 申请日： | 2009-01-08 |
| 公开（公告）号： | CN101960519A | 公开（公告）日： | 2011-01-26 |
| 发明（设计）人： | 塞尔瓦拉杰·帕拉尼萨米钦纳撒姆比;P-H·杨;布赖恩·赖斯 | 申请（专利权）人： | 卡伯特微电子公司 |
| 主分类号： | G11B5/84 | 分类号： | G11B5/84;H01L21/304;C09K3/14;B24B37/04 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 宋莉 |
| 地址： | 美国伊*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明提供化学机械抛光组合物，其基本上由热解氧化铝、α-氧化铝、二氧化硅、非离子型表面活性剂、添加剂化合物、过氧化氢和水组成，所述添加剂化合物选自甘氨酸、丙氨酸、亚氨基二乙酸和马来酸。本发明进一步提供对基材进行化学机械抛光的方法，该方法包括：使基材与抛光垫和化学机械抛光组合物接触；使所述抛光垫和所述抛光组合物相对于所述基材移动；和磨除所述基材的至少一部分以抛光所述基材。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 抛光 覆盖 硬磁盘 组合 方法 | ||
【主权项】：
化学机械抛光组合物，其基本上由下列物质组成：(a)热解氧化铝，(b)α‑氧化铝，(c)二氧化硅，(d)10～1000ppm的非离子型表面活性剂，(e)0.8重量％～1.5重量％的选自甘氨酸、丙氨酸、亚氨基二乙酸和马来酸的添加剂化合物，(f)过氧化氢，(g)任选的杀生物剂，和(h)水。
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