[发明专利]包含吸电子取代基和内酯骨架的单体、高分子化合物及光致抗蚀剂组合物

摘要

本发明提供下述式(1)(式中，R^a表示氢原子、碳原子数1～6的烷基等，R¹表示卤素原子、任选具有卤素原子的碳原子数1～6的烷基等。A表示碳原子数1～6的亚烷基、氧原子、硫原子或非键合。m表示0～8的整数。X表示吸电子取代基、n表示1～9的整数。Y表示碳原子数1～6的2价有机基团)所表示的包含吸电子取代基和内酯骨架的单体。所述单体将所述单体应用于抗蚀剂用树脂等中时，所述单体作为高功能性高分子等的单体成分等是有用的，所述能够高功能性高分子等在保持耐化学品性等稳定性的同时，在有机溶剂中的溶解性良好，水解性和/或水解后在水中的溶解性得到提高。

主权项

1.下述式(1)所表示的包含吸电子取代基和内酯骨架的单体，式中，R^a表示氢原子、卤素原子、或任选具有取代基的碳原子数1～6的烷基；R¹是键合在环上的取代基，表示卤素原子、任选具有卤素原子的碳原子数1～6的烷基、羟基部分任选被保护基团保护起来且任选具有卤素原子的碳原子数1～6的羟基烷基、任选成盐的羧基、或取代氧基羰基；A表示碳原子数1～6的亚烷基、氧原子、硫原子或非键合；m为R¹的个数，表示0～8的整数；X表示吸电子取代基；n为键合在环上的X的个数，表示1～9的整数；Y表示碳原子数1～6的2价有机基团；CH₂＝C(R^a)COO-Y-COO-基团的空间位置为内向构型、外向构型中的任意构型。