[发明专利]含TiO2的石英玻璃和使用该石英玻璃的光刻用光学部件无效
| 申请号： | 200980106333.X | 申请日： | 2009-02-25 |
| 公开（公告）号： | CN101959817A | 公开（公告）日： | 2011-01-26 |
| 发明（设计）人： | 小池章夫;岩桥康臣;菊川信也 | 申请（专利权）人： | 旭硝子株式会社 |
| 主分类号： | C03C3/06 | 分类号： | C03C3/06;C03C4/00;C03B19/14 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 杨海荣;穆德骏 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种TiO2-SiO2玻璃，其在用作EUVL用曝光工具的光学部件时，当用高EUV能量光辐照时，所述玻璃的线性热膨胀系数基本上为零。本发明涉及含TiO2的石英玻璃，所述石英玻璃的假想温度为1000℃以下，OH浓度为600ppm以上，线性温度系数为0ppb/℃时的温度处于40至110℃的范围内，且在20至100℃温度范围内的平均线性热膨胀系数为50ppb/℃以下。 | ||
| 搜索关键词： | tio sub 石英玻璃 使用 光刻 用光 部件 | ||
【主权项】：
一种含TiO2的石英玻璃，所述石英玻璃的假想温度为1000℃以下，OH浓度为600ppm以上，线性温度系数为0ppb/℃时的温度处于40至110℃的范围内，且在20至100℃温度范围内的平均线性热膨胀系数为50ppb/℃以下。
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