[发明专利]制造具有嵌入金属化的多层衬底的方法无效

专利信息
申请号: 200980105778.6 申请日: 2009-02-16
公开(公告)号: CN101952196A 公开(公告)日: 2011-01-19
发明(设计)人: 吴森焕;王振峰 申请(专利权)人: 新加坡科技研究局
主分类号: B81C1/00 分类号: B81C1/00;H05K3/10;H05K3/46
代理公司: 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 代理人: 张晶
地址: 新加坡*** 国省代码: 新加坡;SG
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摘要: 一种制造衬底的方法,包括:设置上绝缘层和下绝缘层,其中所述上绝缘层包括入口,所述下绝缘层包括通道,而且所述入口与所述通道流体相通,使非固化材料流经所述入口进入所述通道,以及然后通过对所述非固化材料施加能量固化所述非固化材料,从而在所述通道中形成嵌入金属化。所述衬底可以是微流体通道、电互连或者其他电子设备。
搜索关键词: 制造 具有 嵌入 金属化 多层 衬底 方法
【主权项】:
一种制造衬底的方法,包括:设置上绝缘层和下绝缘层,其中所述上绝缘层包括入口,所述下绝缘层包括通道,而且所述入口与所述通道流体相通;使非固化材料流经所述入口进入所述通道;以及然后通过对所述非固化材料施加能量固化所述非固化材料,从而在所述通道中形成嵌入金属化。
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