[发明专利]测量设备、方法和程序有效

专利信息
申请号: 200980104578.9 申请日: 2009-01-09
公开(公告)号: CN101939616A 公开(公告)日: 2011-01-05
发明(设计)人: 木村勇雄;竹内淳 申请(专利权)人: 株式会社尼康
主分类号: G01B11/00 分类号: G01B11/00;G01B11/02;G02B21/00
代理公司: 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人: 潘士霖;李春晖
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 用于容易地测量不被包含在一个成像区域内的两点之间的距离的测量设备、方法和程序。在其中设置了起点的图像中,指定位置地址计算电路(43)存储图像中的所确定的起点的坐标,代表点确定电路(44)确定图像中的代表点,并存储其坐标以及邻近图像的特征量。代表点搜索电路(45)在直到其中确定了终点的图像为止的各个图像中搜索的紧挨着的在先图像的代表点,并存储其坐标。代表点确定电路(44)确定新的代表点,并存储其坐标以及邻近图像的特征量。指定位置地址计算电路(43)存储在其中设置了终点的图像中的终点的坐标。矢量计算部分(61)按设定的顺序计算连接起点、代表点和终点的相应的两点之间的矢量。距离计算部分(62)根据从起点到终点的矢量的大小来计算起点与终点之间的距离。本发明可以应用于例如使用显微镜的测量系统。
搜索关键词: 测量 设备 方法 程序
【主权项】:
一种测量设备,用于在移动对测量对象的摄影范围时使用所摄影的多个图像来测量起点和终点的两点之间的距离,所述测量设备包括:坐标计算装置,用于计算其中设置了所述起点的图像中的所述起点的坐标,以及其中设置了所述终点的图像中的所述终点的坐标,并将所计算的坐标存储在存储单元中;代表点设置装置,用于在其中设置了所述起点的图像中在与所述起点的坐标不相同的坐标的位置处设置代表点,存储所述代表点的坐标以及邻近图像的特征量,在其中设置了所述起点的图像之后到其中设置了所述终点的图像的各个图像中搜索最近设置的所述代表点,在与所检测到的所述代表点的坐标不相同的坐标的位置处设置新的代表点,并将所述新的代表点的坐标以及邻近图像的特征量存储在所述存储单元中;代表点搜索装置,用于基于最近设置的所述代表点的邻近图像的特征量而在从其中设置了所述起点的图像到其中设置了所述终点的图像的各个图像中搜索所述代表点,并将检测到的所述代表点的坐标存储在所述存储单元中;矢量计算装置,用于使用所存储的所述起点、所述代表点和所述终点的坐标,针对其中设置了所述起点的图像中的所述起点和所述代表点、针对在同一图像中的不同位置处设置的所述代表点、以及针对其中设置了所述终点的图像中的所述代表点和所述终点,分别计算同一图像中的两点之间的矢量;以及距离计算装置,用于基于通过将所有计算的所述矢量相加而确定的从所述起点到所述终点的矢量来计算所述起点和所述终点之间的距离。
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