[发明专利]微波等离子体处理装置无效
| 申请号： | 200980103949.1 | 申请日： | 2009-01-30 |
| 公开（公告）号： | CN102090153A | 公开（公告）日： | 2011-06-08 |
| 发明（设计）人： | 太田欣也;田才忠;小林浩;佐藤吉宏;盐泽俊彦;前川浩治 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46;C23C16/511;H01L21/3065;H01L21/31;H01L21/316;H01L21/318 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 龙淳 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种微波等离子体处理装置，其中，对用于形成等离子体的微波进行放射的平面天线(31)，在其表面以同心状被分为中央区域(31a)、外周区域(31c)、中央区域和外周区域的中间区域(31b)的情况下，朝向各异的微波放射孔(32)的对以同心圆状在中央区域(31a)以及所述外周区域(31c)配列多个，在中间区域(31b)上不形成微波放射孔，微波透过板(28)在其微波放射面上形成有凹部(28a)。 | ||
| 搜索关键词： | 微波 等离子体 处理 装置 | ||
【主权项】：
一种微波等离子体处理装置，通过微波形成处理气体的等离子体，通过该等离子体对被处理体实施等离子体处理，其特征在于，包括：收容有被处理体的腔室；在所述腔室内载置被处理体的载置台；产生微波的微波产生源；将由微波产生源产生的微波向所述腔室进行引导的导波管；将被导入到所述导波管的微波向所述腔室进行放射的、由导体构成的平面天线；构成所述腔室的顶壁，使通过所述平面天线的微波放射孔的微波透过的、由电介质构成的微波透过板；和向所述腔室内供给处理气体的处理气体供给部，所述平面天线具有一方向上长的多个微波放射孔，在使所述平面天线的表面呈同心状地分为中央区域、外周区域和中央区域与外周区域的中间区域的情况下，朝向各异的所述微波放射孔的对以同心圆状在所述中央区域和所述外周区域配列有多个，在所述中间区域不形成微波放射孔，所述微波透过板在其微波放射面上形成有凹部。
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