[发明专利]多晶MgO烧结体及其制造方法以及溅射用MgO靶材

摘要

本发明提供MgO烧结体及其制造方法，所述MgO烧结体的烧结密度接近理论密度，机械性质及热传导率优良，能够减少由气体产生造成的气氛的污染。多晶MgO烧结体具有在施加有单向压力的面上使多个(111)面取向的独特的晶体各向异性。所述多晶MgO烧结体经由单向加压烧结粒径为1μm以下的MgO原料粉末的工序和其后在存在0.05体积％以上氧的气氛中，以1273K以上的温度热处理1分钟以上的工序而得到。

主权项

一种多晶MgO烧结体，其经由单向加压烧结MgO原料粉末的工序而得到，其中，多晶MgO烧结体中的MgO的X射线衍射得到的强度比与式(1)表示的(111)面的比率α(111)的值相关，在将施加有单向压力的面的值设为αV(111)、将与施加有单向压力的面垂直的面的值设为αH(111)时，αV(111)/αH(111)＞1.5，α(111)＝{ 0.4434(Ra)2+1.4434*Ra}...(1)在此，Ra＝I(111)/(I(111)+I(200))I(111)：MgO的(111)面的X射线衍射强度I(200)：MgO的(200)面的X射线衍射强度。