[实用新型]多晶硅还原炉无效
| 申请号： | 200920351434.0 | 申请日： | 2009-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN201746331U | 公开（公告）日： | 2011-02-16 |
| 发明（设计）人： | 朱青松 | 申请（专利权）人： | 朱青松 |
| 主分类号： | C01B33/03 | 分类号： | C01B33/03;C30B29/06 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 上海市陕西北*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 多晶硅还原炉主要由底盘、含夹套冷却水的钟罩式双层炉体、电极、视镜孔、混和气进气管、混和气尾气出气管、炉体冷却水进水管、炉体冷却水出水管、底盘冷却水进水管、底盘冷却水出水管、及其他附属部件组成，炉体主体采用不锈钢材质，以减少设备材质对产品的污染，混和气进气管分为数个喷口均匀的设置在底盘上，其特征是在还原炉底盘上分别均匀布置60对电极，该种多晶硅还原炉单台炉每批次产量较现有的还原炉产量有大幅度的提升。 | ||
| 搜索关键词： | 多晶 还原 | ||
【主权项】：
多晶硅还原炉主要由底盘、含夹套冷却水的钟罩式双层炉体、电极、视镜孔、混和气进气管、混和气尾气出气管、炉体冷却水进水管、炉体冷却水出水管、底盘冷却水进水管、底盘冷却水出水管及其他附属部件组成，炉体主体采用不锈钢材质，以减少设备材质对产品的污染，每对电极分正、负极均匀的设置在底盘上，混和气进气管分为数个喷口分布设置在底盘上，其特征是在还原炉底盘上均匀布置60对电极。
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