[实用新型]软性薄膜制程载具有效
| 申请号： | 200920298089.9 | 申请日： | 2009-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN201576149U | 公开（公告）日： | 2010-09-08 |
| 发明（设计）人： | 杨裕程;陈琦昌 | 申请（专利权）人： | 睿明科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/1333 | 分类号： | G02F1/1333 |
| 代理公司： | 北京市浩天知识产权代理事务所 11276 | 代理人： | 刘云贵;刘海英 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本实用新型是提供一种软性薄膜制程载具，其是可以让软性薄膜平整放置，以进行相关制程的制程载具。其包含有一框架，该框架具有镂空部，并设有突伸进入镂空部的凸部，在各凸部设有组件固定部；及至少一固定组件，该固定组件靠近上端处设有薄膜组合部，该固定组件下端组合在框架的组件固定部。借此，本实用新型的软性薄膜制程载具，可达到容易操作使用、结构精简、载具降低成本、及防止软性薄膜制程发生阻碍的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 软性 薄膜 制程载具 | ||
【主权项】：
一种软性薄膜制程载具，其特征在于，包含有：一框架，该框架具有一镂空部，并设有二个以上突伸进入镂空部的凸部，在各凸部设有一组件固定部；及至少一固定组件，该固定组件靠近上端处设有一薄膜组合部，该固定组件下端组合在框架的组件固定部，组成可以在框架的镂空部上放置软性薄膜的软性薄膜制程载具。
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