[实用新型]软性薄膜制程载具有效
| 申请号： | 200920298089.9 | 申请日： | 2009-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN201576149U | 公开（公告）日： | 2010-09-08 |
| 发明（设计）人： | 杨裕程;陈琦昌 | 申请（专利权）人： | 睿明科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/1333 | 分类号： | G02F1/1333 |
| 代理公司： | 北京市浩天知识产权代理事务所 11276 | 代理人： | 刘云贵;刘海英 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 软性 薄膜 制程载具 | ||
【权利要求书】：
1.一种软性薄膜制程载具，其特征在于，包含有：
一框架，该框架具有一镂空部，并设有二个以上突伸进入镂空部的凸部，在各凸部设有一组件固定部；及
至少一固定组件，该固定组件靠近上端处设有一薄膜组合部，该固定组件下端组合在框架的组件固定部，组成可以在框架的镂空部上放置软性薄膜的软性薄膜制程载具。
2.如权利要求1所述的软性薄膜制程载具，其特征在于，该框架是为矩形片状的结构体。
3.如权利要求1所述的软性薄膜制程载具，其特征在于，该框架是为边缘呈圆形片状的结构体。
4.如权利要求1所述的软性薄膜制程载具，其特征在于，该凸部是与框架一体成型的凸片，在凸片设有所述的组件固定部。
5.如权利要求4所述的软性薄膜制程载具，其特征在于，该组件固定部是为凹孔或通孔。
6.如权利要求1所述的软性薄膜制程载具，其特征在于，该固定组件的薄膜组合部包含一设置在固定组件顶端的凸柱，及一环绕该凸柱的颈部。
7.如权利要求6所述的软性薄膜制程载具，其特征在于，该固定组件是为圆柱体。
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