[实用新型]一种低合金钢表面氮化氧化复合处理装置

摘要

本实用新型公开了一种低合金钢表面氮化氧化复合处理装置，包括真空炉、进气系统、抽真空系统、供电系统、测温系统，所述的真空炉内安装有空心阴极辅助装置和工件平台，所述的空心阴极辅助装置由两个直径不同且带有孔洞的小圆筒和大圆筒组成，所述的小圆筒和大圆筒分别与电源的阴极连接，所述的小圆筒放置有绝缘陶瓷片；所述的工件平台包括支座和载物台，所述的支座位于真空炉底座上，所述的载物台位于支座上，用于放置工件并与电源的阳极连接。本实用新型通过空心阴极装置的放置，用空心阴极放电提高放电强度和离化率，从而产生高浓度、高活性的渗扩物质，在表面形成耐蚀性好，硬度高，同时摩擦磨损性能良好的改性层。

主权项

一种低合金钢表面氮化氧化复合处理装置包括真空炉、进气系统、抽真空系统、供电系统、测温系统，所述的真空炉为离子扩渗设备，由真空炉体和炉门(1)组成；所述的进气系统包括氨气瓶(3)、氧气瓶(4)、氩气瓶(5)、流量控制器和进气口(2)，进气口(2)安装在真空炉侧；所述的供电系统采用脉充直流高压电源或直流溅射高压电源；所述的测温系统为常用S型热电偶(13)，安装在距载物台(10)2～4cm的位置；所述的抽真空系统包括真空泵(14)及其管路，所述的真空泵(14)通过管路与真空炉的底座相连；其特征在于：所述的真空炉内安装有空心阴极辅助装置和工件平台，所述的空心阴极辅助装置由两个直径不同且带有孔洞的小圆筒(7)和大圆筒(8)组成，所述的小圆筒(7)和大圆筒(8)构成同轴双层圆筒，位于绝缘环(12)上，并通过绝缘环(12)隔离，所述的小圆筒(7)和大圆筒(8)分别与电源(6)的阴极连接，所述的小圆筒(7)放置有绝缘陶瓷片(15)；所述的工件平台包括支座(11)和载物台(10)，所述的支座(11)位于真空炉底座上；所述的载物台(10)由不锈钢板制成，位于支座(11)上，用于放置工件(9)，所述的载物台(10)和真空炉的炉壁分别与电源(6)的阳极连接。