[实用新型]用于装运硅片的夹具

摘要

本实用新型提供了一种用于装运硅片的夹具，它包括波纹管、两中空石英吸笔和两石英吸盘。在波纹管上设有抽真空接管。两中空石英吸笔为便于用手握持的扁平结构，其一端分别与波纹管连接连通。两石英吸盘为圆盘形结构，其分别连接在两中空石英吸笔的另一端。本实用新型的用于装运硅片的夹具满足便于并片操作及保证工艺洁净度的双重要求。

主权项

一种用于装运硅片的夹具，其特征在于包括：波纹管，其上设有抽真空接管；两中空石英吸笔，其一端分别与波纹管连接连通；两石英吸盘，分别连接在两中空石英吸笔的另一端。