[实用新型]用于装运硅片的夹具无效
| 申请号： | 200920213811.4 | 申请日： | 2009-11-18 |
| 公开（公告）号： | CN201540900U | 公开（公告）日： | 2010-08-04 |
| 发明（设计）人： | 许卓;邓超;顾涵奥;许瑞峰 | 申请（专利权）人： | 上海太阳能科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L31/18 | 分类号： | H01L31/18 |
| 代理公司： | 上海科盛知识产权代理有限公司 31225 | 代理人： | 杨元焱 |
| 地址： | 201108 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 装运 硅片 夹具 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于装运硅片的夹具，其特征在于包括：
波纹管，其上设有抽真空接管；
两中空石英吸笔，其一端分别与波纹管连接连通；
两石英吸盘，分别连接在两中空石英吸笔的另一端。
2.如权利要求1所述的用于装运硅片的夹具，其特征在于：所述的石英吸盘为圆盘。
3.如权利要求1所述的用于装运硅片的夹具，其特征在于：所述的石英吸笔为便于用手握持的扁平结构。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
