[实用新型]芯片固定结构有效
| 申请号： | 200920211020.8 | 申请日： | 2009-10-20 |
| 公开（公告）号： | CN201548448U | 公开（公告）日： | 2010-08-11 |
| 发明（设计）人： | 吴根兴;马瑾怡;何俊明;张龙 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
| 主分类号： | G01N3/02 | 分类号： | G01N3/02 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 李丽 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种芯片固定结构，包括工作台，所述工作台包括：对称分布于工作台的中轴线的两侧且平行于中轴线的插槽；位于所述中轴线所在的工作台上的气孔，所述气孔与抽真空装置相连。本实用新型通过在固定结构的工作台上设置插槽、气孔及与气孔相连通的抽真空装置，以提高固定芯片的能力；不同的插槽形成不同的间距可固定不同尺寸的芯片，提高了适用范围；一个固定结构可同时固定数个不同尺寸或相同尺寸的芯片；引脚完全位于插槽内，可以保护管脚。 | ||
| 搜索关键词： | 芯片 固定 结构 | ||
【主权项】：
一种芯片固定结构，包括工作台，所述工作台包括：对称分布于工作台的中轴线的两侧且平行于中轴线的插槽；位于所述中轴线所在的工作台上的气孔，所述气孔与抽真空装置相连。
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