[实用新型]一种可辨识晶圆特性的数据记录装置无效
| 申请号： | 200920204104.9 | 申请日： | 2009-08-26 |
| 公开（公告）号： | CN201490188U | 公开（公告）日： | 2010-05-26 |
| 发明（设计）人： | 温俊熙 | 申请（专利权）人： | 致茂电子(苏州)有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/544 | 分类号： | H01L23/544 |
| 代理公司： | 广东国晖律师事务所 44266 | 代理人： | 欧阳启明 |
| 地址： | 518054 广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型适用于晶圆检测技术领域，提供了一种可辨识晶圆特性的数据记录装置，所述的装置包括：一个载体；位于该载体上的复数晶粒，该载体上晶粒的排列标示该复数晶粒组成的晶圆的特性数据。本实用新型提供的技术方案，可以避免现有技术中晶圆因保护薄膜重复撕贴，造成晶圆与记录卷标不符的问题；使用者可透过直接读取晶圆上记录机的特性数据，直接辨别所送出至客户的晶圆是否与订单相符，亦可利用机械或计算机辅助读取数据，以防止错误发生。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 辨识 特性 数据 记录 装置 | ||
【主权项】：
一种可辨识晶圆特性的数据记录装置，其特征在于，所述的装置包括：一个载体；位于该载体上的复数晶粒，该载体上复数晶粒的排列标示该复数晶粒组成的晶圆的特性数据。
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