[实用新型]用于干涉显微镜升级的白光干涉三维轮廓测量仪

摘要

本实用新型涉及一种用于干涉显微镜升级的白光干涉三维轮廓测量仪，包括防震平台，所述防震平台的上表面设有仪器主机、电子控制器和计算机，所述仪器主机包括6JA干涉显微镜、CCD摄像、全息衍射光栅计量装置和支架座，支架座的上表面设有共基面运动X-Y工作台，共基面运动X-Y工作台上表面的左侧设有全息衍射光栅计量装置，共基面运动X-Y工作台上表面的右侧设有垂直位移驱动装置，垂直位移驱动装置的上表面设有垂直位移工作台座，垂直位移工作台座的正上方设有6JA干涉显微镜。本实用新型的有益效果为：能精确测量Rz为0.001-2.0μm的三维表面形貌特征，产品既有继承性，又能满足工程表面测量的发展要求，是一种理想的表面非接触测量仪器。

主权项

一种用于干涉显微镜升级的白光干涉三维轮廓测量仪，包括防震平台(1)，所述防震平台(1)的上表面设有仪器主机(2)、电子控制器(3)和计算机(4)，仪器主机(2)与电子控制器(3)之间、电子控制器(3)与计算机(4)之间均通过导线连接，其特征在于：所述仪器主机(2)包括6JA干涉显微镜(5)、CCD摄像(6)、全息衍射光栅计量装置(7)和支架座(8)，支架座(8)的上表面设有共基面运动X-Y工作台(9)，共基面运动X-Y工作台(9)上表面的左侧设有全息衍射光栅计量装置(7)，共基面运动X-Y工作台(9)上表面的右侧设有垂直位移驱动装置(10)。