[实用新型]用于干涉显微镜升级的白光干涉三维轮廓测量仪无效
| 申请号： | 200920175590.6 | 申请日： | 2009-08-24 |
| 公开（公告）号： | CN201476761U | 公开（公告）日： | 2010-05-19 |
| 发明（设计）人： | 罗先照;胡志强 | 申请（专利权）人： | 苏州海兹思纳米科技有限公司 |
| 主分类号： | G01B9/023 | 分类号： | G01B9/023;G01B11/24 |
| 代理公司： | 北京纽乐康知识产权代理事务所 11210 | 代理人： | 秦月贞 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 干涉显微镜 升级 白光 干涉 三维 轮廓 测量仪 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于干涉显微镜升级的白光干涉三维轮廓测量仪，包括防震平台(1)，所述防震平台(1)的上表面设有仪器主机(2)、电子控制器(3)和计算机(4)，仪器主机(2)与电子控制器(3)之间、电子控制器(3)与计算机(4)之间均通过导线连接，其特征在于：所述仪器主机(2)包括6JA干涉显微镜(5)、CCD摄像(6)、全息衍射光栅计量装置(7)和支架座(8)，支架座(8)的上表面设有共基面运动X-Y工作台(9)，共基面运动X-Y工作台(9)上表面的左侧设有全息衍射光栅计量装置(7)，共基面运动X-Y工作台(9)上表面的右侧设有垂直位移驱动装置(10)。
2.根据权利要求1所述的用于干涉显微镜升级的白光干涉三维轮廓测量仪，其特征在于：所述垂直位移驱动装置(10)的上表面设有垂直位移工作台座(11)。
3.根据权利要求1或2所述的用于干涉显微镜升级的白光干涉三维轮廓测量仪，其特征在于：所述垂直位移工作台座(11)包括计量衍射光栅(12)和压电陶瓷(13)，压电陶瓷(13)通过柔性铰(14)与垂直位移工作台座(11)连接，垂直位移工作台座(11)的正上方设有6JA干涉显微镜(5)，6JA干涉显微镜(5)的侧壁上设有CCD摄像(6)。
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