[实用新型]一种四氯化硅制备三氯氢硅的设备无效
申请号: | 200920135251.5 | 申请日: | 2009-02-27 |
公开(公告)号: | CN201372206Y | 公开(公告)日: | 2009-12-30 |
发明(设计)人: | 张日清;范猛;周勇;姜占锋 | 申请(专利权)人: | 比亚迪股份有限公司 |
主分类号: | C01B33/107 | 分类号: | C01B33/107 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 518118广东省深*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型提供了一种能连续输送固体物料的四氯化硅制备三氯氢硅的设备,包括硅粉活化器,供气装置,氢化反应器,后处理装置;硅粉活化器和氢化反应器之间设有第一管道;供气装置和氢化反应器之间设有第二管道;后处理装置用于对氢化反应器中出来的物质进行处理;其中,第一管道11上设有若干阀门,阀门与阀门之间形成若干管段;各管段上设有抽真空口和充气口。采用本实用新型技术方案,可实现固体颗粒的稳定的连续补充,从而保证生产反应的连续进行,降低生产能耗,增加生产效率,提高生产设备的操作安全性能。 | ||
搜索关键词: | 一种 氯化 制备 三氯氢硅 设备 | ||
【主权项】:
1,一种四氯化硅制备三氯氢硅的设备,包括硅粉活化器,供气装置,氢化反应器,后处理装置;所述硅粉活化器和氢化反应器之间设有第一管道;供气装置和氢化反应器之间设有第二管道;所述后处理装置用于对氢化反应器中出来的物质进行处理;其特征在于:所述第一管道上设有2个以上阀门,相邻的阀门与阀门之间形成管段;各管段上设有抽真空口和充气口,可对各管段抽真空和向内充入气体。
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