[实用新型]一种四氯化硅制备三氯氢硅的设备

权利要求书

1，一种四氯化硅制备三氯氢硅的设备，包括硅粉活化器，供气装置，氢化反应器，后处理装置；

所述硅粉活化器和氢化反应器之间设有第一管道；供气装置和氢化反应器之间设有第二管道；

所述后处理装置用于对氢化反应器中出来的物质进行处理；

其特征在于：所述第一管道上设有2个以上阀门，相邻的阀门与阀门之间形成管段；各管段上设有抽真空口和充气口，可对各管段抽真空和向内充入气体。

2，如权利要求1所述的四氯化硅制备三氯氢硅的设备，其特征在于：所述后处理装置包括过滤装置，冷凝装置，分馏装置，各装置之间通过管道连接。

3，如权利要求2所述的四氯化硅制备三氯氢硅的设备，其特征在于：所述过滤装置包括旋风分离器和布袋过滤器；两者之间通过管道连接。

4，如权利要求1或2或3所述的四氯化硅制备三氯氢硅的设备，其特征在于：硅粉活化器的个数为多个，该多个硅粉活化器通过多个第一管道连通至氢化反应器上。

5，如权利要求1或2或3所述的四氯化硅制备三氯氢硅的设备，其特征在于：所述硅粉活化器上与第一管道连接处为物料输送口，所述储存仓的个数为偶数，对应的物料输送口位置呈对称分布。

6，如权利要求5所述的四氯化硅制备三氯氢硅的设备，其特征在于：所述储存仓的个数为4个，物料输送口对称分布在氢化反应器上。

7，如权利要求1或2或3所述的四氯化硅制备三氯氢硅的设备，其特征在于：阀门的个数为3个，阀门之间形成的管段分为从硅粉活化器向氢化反应器方向的第一管段和第二管段。

8，如权利要求1或2或3所述的四氯化硅制备三氯氢硅的设备，其特征在于：所述第一管道为环形管道，包括一内圆及位于内圆外的外环；内圆用于硅粉和催化剂输入；外环为冷却水管道，用于通入冷却水。

9，如权利要求2所述的所述的四氯化硅制备三氯氢硅的设备，其特征在于：还包括储存装置，所述储存装置用于收集三氯氢硅。

10，如权利要求1所述的四氯化硅制备三氯氢硅的设备，其特征在于：所述供气装置包括氢气储存钢瓶、四氯化硅储存钢瓶及气体混合器。