[实用新型]一种用于硅单晶生长的坩埚无效
| 申请号： | 200920115886.9 | 申请日： | 2009-03-23 |
| 公开（公告）号： | CN201362752Y | 公开（公告）日： | 2009-12-16 |
| 发明（设计）人： | 李乔;马远 | 申请（专利权）人： | 浙江碧晶科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B11/00 | 分类号： | C30B11/00 |
| 代理公司： | 杭州天勤知识产权代理有限公司 | 代理人： | 胡红娟 |
| 地址： | 312300浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种定向凝固法生长硅单晶的坩埚，包括坩埚主体，且在坩埚主体底部设有籽晶套管，籽晶套管在靠近坩埚主体部分至少有一段直径收缩形成缩口段，缩口段的两端与籽晶套管的其它部分通过直径渐变的过渡段连接，籽晶套管也可为圆筒或方筒形状。该坩埚能有效解决籽晶放置问题，并使籽晶在引晶过程中消除位错，不需要从根本上改变现有的定向凝固炉的结构，即可有效地生长单晶硅。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 硅单晶 生长 坩埚 | ||
【主权项】：
1、一种用于定向凝固法生长硅单晶的坩埚，包括坩埚主体(4)，其特征在于：在坩埚主体(4)底部设有籽晶套管(3)。
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