[实用新型]一种单晶硅生长炉的加热系统无效
| 申请号： | 200920101831.2 | 申请日： | 2009-03-10 |
| 公开（公告）号： | CN201362755Y | 公开（公告）日： | 2009-12-16 |
| 发明（设计）人： | 张浩强;颜玉峰;杨立辉 | 申请（专利权）人： | 宁晋松宫电子材料有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/18 | 分类号： | C30B15/18 |
| 代理公司： | 石家庄科诚专利事务所 | 代理人： | 王文庆 |
| 地址： | 055550河*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种单晶硅生长炉的加热系统，包括加热器1、电极柱2，加热器1包括加热器本体和电极脚，螺栓3将电极脚固定到电极柱2上，在螺栓3和电极脚上配装有密封罩4，密封罩4将螺栓3与电极脚整体包裹，密封罩4与加热器本体上的接触部位保持密闭，密封罩4的内腔形状与螺栓端部和电极脚形状相配。硅液从上方流下来时，不会流进螺栓3与加热器本体之间缝隙，也不能直接流到螺栓3和电极脚的联接部位，从而防止螺检3与加热器电极脚的粘连，使加热器1延长使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 单晶硅 生长 加热 系统 | ||
【主权项】：
1、一种单晶硅生长炉的加热系统，包括加热器(1)、电极柱(2)，加热器(1)包括加热器本体和电极脚，螺栓(3)将电极脚固定到电极柱(2)上，其特征在于：在螺栓(3)和电极脚上配装有密封罩(4)，密封罩(4)将螺栓(3)与电极脚整体包裹。
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