[实用新型]一种单晶硅生长炉的加热系统

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种半导体行业拉单晶所使用的加热系统。

背景技术

目前，在现有单晶硅加工过程中，用到的化料设备就是晶体生长炉，晶体生长炉包括炉体、炉盖、坩埚、导流筒、加热系统，坩埚位于炉体内部，加热系统中有加热器，加热器通过螺栓固定在电极柱上。

拉单晶所使用加热系统中的加热器是非常重要的石墨件，加热器的安装是由电极螺栓直接固定到电极柱上，而电极螺栓直接裸露在炉膛中，在拉制单晶过程中由于硅液蒸发以及滴落在电极螺栓与加热器上，流到电极螺栓与加热器缝隙之间，经常出现电极螺栓与加热器粘连现象，拆卸时极易损坏加热器电极脚，使加热器整个报废。

实用新型内容

本实用新型需要解决的技术问题是提供一种能够防止螺栓与加热器粘连的单晶硅生长炉的加热系统。

为解决上述技术问题，本实用新型的单晶硅生长炉的加热系统，包括加热器、电极柱，加热器包括加热器本体和电极脚，螺栓将电极脚固定到电极柱上，在螺栓和电极脚上配装有密封罩，密封罩将螺栓与电极脚整体包裹。

作为本实用新型的改进，密封罩与加热器本体上的接触部位保持密闭。

作为本实用新型的进一步改进，密封罩的内腔形状与螺栓和电极脚的形状相配。

由于采用了上述技术方案，本实用新型所取得的技术进步在于：

由于密封罩将电极螺栓与电极脚整体包裹，当硅液蒸发以及滴落在电极螺栓与加热器上时，就会由密封罩挡住；密封罩与加热器的接触部分保持密封，硅液就不会从密封罩与加热器之间的缝隙中流进去。防止了电极螺栓与加热器粘连现象的发生。

由于密封罩可遮住部分加热器的连接部分，硅液从上面流下，就会从密封罩的下方滴落下来。

附图说明

图1是本实用新型单晶硅生长炉改进前的结构剖视图。

图2是本实用新型单晶硅生长炉改进后的加热系统的剖视图。

图3是本实用新型单晶硅生长炉改进后的加热系统的密封罩的主视图。

图4为本实用新型单晶硅生长炉改进后的加热系统的密封罩的左视图。

图5为本实用新型单晶硅生长炉改进后的加热系统的密封罩的俯视图。

其中：1、加热器  2、电极  3、螺栓  4、密封罩

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型做进一步详细说明：

由图1至图5可知，本实用新型的单晶硅生长炉的加热系统，包括加热器1、电极柱2、螺栓3，加热器包括加热器本体和电极脚，螺栓3将电极脚固定到电极柱2上，在螺栓3和电极脚上配装有密封罩4，密封罩4将螺栓3与电极脚整体包裹，密封罩4与加热器本体上的接触部位保持密闭，密封罩4的内腔形状与螺栓端部和电极脚形状相配。

工作时，硅液从上方流下来时，不会流进螺栓与加热器本体之间缝隙，也不能直接流到螺栓和电极脚的联接部位，从而防止螺栓与加热器电极脚的粘连。