[实用新型]自动清洁表面的激光打标系统

摘要

本实用新型公开了一种自动清洁表面的激光打标系统，属于激光应用技术及激光打标技术领域。它包括连续激光器、扩束准直镜、X/Y偏转镜、聚焦镜和器件定位槽，在聚焦镜和器件定位槽之间设有清洁系统，其主体形状是上部为圆柱管道、下部为圆台管道，其上端与聚焦镜相连，下端与器件定位槽槽口相通，圆柱管道上部一侧连接有横向抽风管。本实用新型省时、省力，清洁过程自动化进行，避免了丢料，保证了打标质量，系统工作效率显著提高。适合作为半导体器件的打标和对其定位装置的自动清洁使用。

主权项

一种自动清洁表面的激光打标系统，包括连续激光器(10)、扩束准直镜(11)、X/Y偏转镜(1)、聚焦镜(2)和器件定位槽(3)，其特征在于，在聚焦镜(2)和器件定位槽(3)之间设有清洁系统，其主体形状是上部为圆柱管道(4)、下部为圆台管道(5)，其上端与聚焦镜(2)相连，下端与器件定位槽(3)槽口相通，圆柱管道(4)上部一侧连接有横向抽风管(6)。