[实用新型]真空泵有效
| 申请号： | 200920078047.4 | 申请日： | 2009-07-09 |
| 公开（公告）号： | CN201560944U | 公开（公告）日： | 2010-08-25 |
| 发明（设计）人： | 王刚 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
| 主分类号： | F04C25/02 | 分类号： | F04C25/02;F04C29/04;F04C28/00 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 20120*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型的真空泵包括腔壳和设置在腔壳外壁上的保温装置，该保温装置可以是设置在腔壳外壁上的加热管，也可以是设置在腔壳外壁上的保温带。本实用新型的真空泵在任何时候都能重启，保证了机台正常运行。 | ||
| 搜索关键词： | 真空泵 | ||
【主权项】：
一种真空泵，包括腔壳，其特征在于，还包括设置在腔壳外壁上的加热装置和与加热装置连接的控制电路。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中芯国际集成电路制造(上海)有限公司，未经中芯国际集成电路制造(上海)有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200920078047.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：三侧进水的前置竖井贯流泵装置
- 下一篇：水浪浪泳发电平台
