[实用新型]真空泵

说明书

技术领域

本实用新型涉及半导体制造技术，尤其涉及一种真空泵。

背景技术

半导体制造业的许多工艺是发生在工艺腔里的化学反应，所谓工艺腔是指一个受控的真空环境，使得化学反应能够在受控条件下进行。工艺腔内的真空环境是通过真空泵提供的，因此，真空泵在很多工艺步骤中都需要使用到。

如图1所示的真空泵包括腔壳11、设置在腔壳11上的进气口13和排气口14、以及设置在腔壳11内的两转子12，且两转子12之间以及转子12与腔壳11之间间隙很小。在真空泵运行过程中会产生一些副生成物，这些副生成物容易附着在转子12和腔壳11内壁上，当真空泵停止运行时，泵体的温度会快速下降，随着泵体温度的下降，附着在转子12和腔壳11内壁上的副生成物凝固变硬，凝固变硬的副生成物会卡住转子12，使得真空泵无法再启动，如此一来，不仅会影响机台的检修，同时还需要更换真空泵，对新的真空泵进行底压、抽速检测等，大大增加了工作量，降低工作效率，增加生产成本。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种真空泵，在真空泵停止运行时，使泵体的温度保持在一定温度范围内，能有效防止副生成物凝固变硬，保证任何时候都能重启真空泵。

为了达到上述的目的，本实用新型提供一种真空泵，包括腔壳、设置在腔壳外壁上的加热装置和与加热装置连接的控制电路。

上述真空泵，其中，所述控制电路包括电源开关、继电器、控制模块和温度传感器；所述电源开关的输入端与外部电源连接，其输出端与继电器的选择开关的输入端连接；所述继电器的选择开关的输出端有两个端子，一个端子为常闭端子，另一个端子为常开端子，当选择开关的输入端与常闭端子连接时，继电器与外部电源处于连接状态，当选择开关的输入端与常开端子连接时，继电器与外部电源处于断开状态；所述继电器的输出端与加热管连接；所述控制模块的输入端与温度传感器连接，所述控制模块的输出端与继电器的控制端连接。

上述真空泵，其中，所述继电器的选择开关与真空泵电源开关连接，闭合真空泵电源开关，继电器的选择开关的输入端与常开端子连接，断开真空泵电源开关，继电器的选择开关的输入端与常闭端子连接。

上述真空泵，其中，所述加热装置为设置在腔壳外壁上的数根加热管。

上述真空泵，其中，所述加热装置还包括数个中空管，所述数个中空管设置在腔壳的外壁上，所述加热管设置在中空管内。

上述真空泵，其中，所述数个中空管相互平行。

上述真空泵，其中，所述加热装置为缠绕在腔壳外壁上的加热带。

上述真空泵，其中，所述加热带为数条环绕在腔壳外壁上的加热带。

上述真空泵，其中，所述加热带为数条相互平行粘贴在腔壳外壁上的加热带。

本实用新型的真空泵由于在腔壳的外壁上设置加热管或加热带，能在真空泵停机后保持泵体温度处在一定温度范围内，防止停机后泵体温度下降到太低，使附着在转子和腔壳内壁上的副生成物凝固变硬，影响真空泵重启，因此，本实用新型的真空泵在任何时候都能重启，保证了机台正常运行。

附图说明

本实用新型的真空泵由以下的实施例及附图给出。

图1是现有技术中真空泵的剖视图。

图2是本实用新型真空泵实施例一的剖视图。

图3是本实用新型真空泵实施例一的侧视图。

图4是本实用新型实施例一中控制电路的电路原理图。

图5是本实用新型真空泵实施例二的侧视图。

图6是本实用新型真空泵实施例三的侧视图。

具体实施方式

以下将结合图2～图5对本实用新型的真空泵作进一步的详细描述。

现有技术中，真空泵停机后无法再启动的原因是停机使真空泵泵体温度下降，温度下降使附着在转子和腔壳内壁上的副生成物凝固变硬而卡住转子。因此，要真空泵停机后能重新启动，就要避免真空泵停机后温度下降到太低，从而防止副生成物凝固变硬。

实施例一：

参见图2，本实用新型的真空泵包括腔壳2、设置在腔壳2上的进气口21和排气口22、设置在腔壳2内的两转子23，在腔壳2的外壁上设有数个中空管24，所述中空管24内设有加热管3。

参见图3，所述数个中空管24相互平行设置在腔壳2的外壁上，所述中空管24内的加热管3与控制电路4连接。