[实用新型]重力补偿器

摘要

本实用新型提供了一种重力补偿器，具有基座、连接块、板簧片、活动底板及拉簧，所述连接块连接于所述基座与所述微动台之间，所述板簧片、活动底板及拉簧形成静态重力补偿模块，使得整个重力补偿器既能够起到承载静态重力的作用，结构又较为简单，容易实现。另外，将三个重力补偿器排布成等边或等腰三角形，并使三角形的几何中心与微动台的质心重合，可通过垂向位置差动调节来完成对微动台的调平，通过垂向同步运动来完成对微动台的调焦，其运动方式均为质心驱动；模块中的板簧片和拉簧，通过自身的弹性阻尼起到了隔振作用。

主权项

一种重力补偿器，用于对光刻设备中的微动台进行调平调焦和隔振，其特征在于：所述重力补偿器具有基座、连接块、板簧片、活动底板及拉簧，所述连接块连接于所述基座与所述微动台之间，所述板簧片具有通过柔性部分相互连接的基体部分，且其两端的基体部分固定于所述基座上端，而中部的基体部分与所述连接块连接；所述活动底板通过所述拉簧连接至所述基座下端。