[实用新型]重力补偿器

权利要求书

1.一种重力补偿器，用于对光刻设备中的微动台进行调平调焦和隔振，其特征在于：所述重力补偿器具有基座、连接块、板簧片、活动底板及拉簧，所述连接块连接于所述基座与所述微动台之间，所述板簧片具有通过柔性部分相互连接的基体部分，且其两端的基体部分固定于所述基座上端，而中部的基体部分与所述连接块连接；所述活动底板通过所述拉簧连接至所述基座下端。

2.如权利要求1所述的重力补偿器，其特征在于，所述基体部分与所述柔体部分间隔设置。

3.如权利要求1所述的重力补偿器，其特征在于，所述连接块是具有柔性铰链结构的连接块。

4.如权利要求3所述的重力补偿器，其特征在于，所述柔性铰链结构为多个，以十字交错形式分布在所述连接块内。

5.如权利要求1所述的重力补偿器，其特征在于，还包括：音圈电机、固定连接板、活动连接板、导向体、导向块和连接架，其中所述音圈电机包括电机磁铁体及设于电机磁铁体内的电机线圈体；所述固定连接板与基座连接；所述电机线圈体与所述固定连接板连接；所述电机磁铁体的下端与活动连接板连接；所述导向体设于所述活动底板上侧，且具有孔隙，而所述活动连接板具有向下的凸块，该凸块穿过所述孔隙与所述活动底板连接；所述导向块固定在活动底板上，通过固定在基座上的连接架进行导向和限位。

6.如权利要求1所述的重力补偿器，其特征在于，三个所述重力补偿器呈等边三角形设置，且上述等边三角形的几何中心与所述微动台的质心重合。

7.如权利要求1所述的重力补偿器，其特征在于，三个所述重力补偿器呈等腰三角形设置，且上述等腰三角形的几何中心与所述微动台的质心重合。