[实用新型]铬版膜针孔微观缺陷自动检查仪光源同步悬臂无效
申请号: | 200920065195.2 | 申请日: | 2009-04-30 |
公开(公告)号: | CN201331490Y | 公开(公告)日: | 2009-10-21 |
发明(设计)人: | 陈武;杨小军 | 申请(专利权)人: | 湖南通源机电科技有限公司 |
主分类号: | G01N21/01 | 分类号: | G01N21/01;G01N21/894 |
代理公司: | 长沙星耀专利事务所 | 代理人: | 宁星耀 |
地址: | 410007湖南省长沙市*** | 国省代码: | 湖南;43 |
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摘要: | 铬版膜针孔微观缺陷自动检查仪光源同步悬臂,其包括连接臂、上悬臂、下悬臂,上悬臂通过连接臂与下悬臂相连,上悬臂与下悬臂相互平行,上悬臂上设有用于与机器人Y轴滑块和微调装置底板固定的F形固定器;上悬臂和下悬臂两侧安装有加强板;下悬臂与CCD成像系统相应的位置设有光源固定块,所述光源固定块上设有光源位置限定螺钉;下悬臂靠近右端处设有用于安装另一光源的直线滑轨,所述直线滑轨上也设有光源固定块,所述光源固定块上也设有光源位置限定螺钉;下悬臂最右端设有限位块。本实用新型同步悬臂移动距离长,且可有效防止光源在移动中的抖动,具有光源位置调整功能,制造成本低。 | ||
搜索关键词: | 铬版膜 针孔 微观 缺陷 自动 检查 光源 同步 悬臂 | ||
【主权项】:
1、一种铬版膜针孔微观缺陷自动检查仪光源同步悬臂,包括连接臂杆、上悬臂、下悬臂,上悬臂通过连接臂杆与下悬臂相连,其特征在于,上悬臂与下悬臂相互平行,上悬臂上设有用于与机器人Y轴滑块和微调装置底板固定的F形固定器;上悬臂和下悬臂两侧安装有加强板;下悬臂与CCD成像系统相应的位置设有光源固定块,所述光源固定块上设有光源位置限定螺钉;下悬臂靠近右端处设有用于安装另一光源的直线滑轨,所述直线滑轨上也设有光源固定块,所述光源固定块上也设有光源位置限定螺钉;下悬臂最右端设有限位块。
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