[实用新型]铬版膜针孔微观缺陷自动检查仪光源同步悬臂无效

专利信息
申请号: 200920065195.2 申请日: 2009-04-30
公开(公告)号: CN201331490Y 公开(公告)日: 2009-10-21
发明(设计)人: 陈武;杨小军 申请(专利权)人: 湖南通源机电科技有限公司
主分类号: G01N21/01 分类号: G01N21/01;G01N21/894
代理公司: 长沙星耀专利事务所 代理人: 宁星耀
地址: 410007湖南省长沙市*** 国省代码: 湖南;43
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摘要:
搜索关键词: 铬版膜 针孔 微观 缺陷 自动 检查 光源 同步 悬臂
【说明书】:

技术领域

实用新型涉及一种同步悬臂,尤其是涉及一种铬版膜针孔微观缺陷自动检查仪光源同步悬臂。

背景技术

现有铬版膜针孔微观缺陷自动检查仪同步悬臂,可移动距离短;无法实现在进行长达500mm距离移动的同时,有效防止光源在移动中的抖动;另有一些同步悬臂,本身质量较重,不适合在单边悬浮的机械臂上安装、运行,缺乏光源调整功能,制造成本也偏高。

实用新型内容

本实用新型的目的在于克服现有同步悬臂存在的上述缺陷,提供一种可移动距离长,且在进行移动的同时,可有效防止光源在移动中的抖动,具有光源调整功能,制造成本较低的铬版膜针孔微观缺陷自动检查仪光源同步悬臂。

本实用新型的技术方案是:其包括连接臂杆、上悬臂、下悬臂,上悬臂通过连接臂杆与下悬臂相连,上悬臂与下悬臂相互平行,上悬臂上设有用于与机器人Y轴滑块和微调装置底板固定的F形固定器,以有效防止悬臂前后左右位移,保证悬臂与机器人Y轴运行的同步性;上悬臂和下悬臂两侧安装有加强板,以保证上悬臂和下悬臂之间的平行度和上下悬臂的线性度,防止安装在下悬臂上的点光源在移动中发生抖动;下悬臂与CCD(电荷耦合器)成像系统相应的位置设有光源固定块,所述光源固定块上设有光源位置限定螺钉;下悬臂靠近右端处设有用于安装另一光源的直线滑轨,所述直线滑轨上也设有光源固定块,所述光源固定块上也设有光源位置限定螺钉,通过两个光源位置限定螺钉可以分别固定两个光源的上下位置;而安装在直线滑轨上的光源,由于可在直线滑轨上滑动,因而其位置可以左右调整;下悬臂右端设有限位块,用于防止直线轴承脱落。

连接臂杆、上悬臂和下悬臂选用方形结构,以提高抗扭曲能力。

本实用新型可移动距离长(可达500mm),且可以有效保证与CCD的同步,克服了Robot(机器人)移动中的光源晃动问题;安装在悬臂上的光源位置可以微调,为针孔检测设备微小缺陷检查和多种产品规格兼容提供了有效保障;抗扭曲能力,结构简单,制造成本较低。

附图说明

图1为本实用新型一实施例的主视图;

图2为图1所示实施例的俯视图;

图3为图1所示实施例的左视图。

具体实施方式

以下结合附图对本实用新型作进一步说明。

参照附图,本实施例包括方形连接臂杆1、上悬臂3、下悬臂4。上悬臂3通过方形连接臂杆1与下悬臂4相连,上悬臂3与下悬臂4相互平行且上下在同一线上,上悬臂3上设有用于与机器人Y轴滑块和微调装置底板固定的F形固定器2(目的在于有效防止悬臂前后左右位移,保证悬臂与机器人Y轴运行的同步性);上悬臂3和下悬臂4两侧安装有加强板5,以保证上悬臂3和下悬臂4之间的平行度和上下悬臂的线性度,防止安装在下悬臂4上的点光源在移动中发生抖动;下悬臂4与CCD成像系统相应的位置设有光源固定块I 7-1,光源固定块I 7-1上设有光源位置限定螺钉I 9-1;下悬臂4靠近右端处设有用于安装另一光源的直线滑轨6,直线滑轨6上设有光源固定块II 7-2,光源固定块II 7-2上设有光源位置限定螺钉II 9-2,通过光源位置限定螺钉I 9-1、光源位置限定螺钉II 9-2可以分别固定两个光源I 8-1、光源II 8-2的上下位置;而安装在直线滑轨6上的光源,由于可在直线滑轨6上滑行,因而位置可左右调整;下悬臂4最右端设有限位块10,用于防止直线轴承脱落。

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