[实用新型]铬版膜针孔微观缺陷自动检查仪光源同步悬臂

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种同步悬臂，尤其是涉及一种铬版膜针孔微观缺陷自动检查仪光源同步悬臂。

背景技术

现有铬版膜针孔微观缺陷自动检查仪同步悬臂，可移动距离短；无法实现在进行长达500mm距离移动的同时，有效防止光源在移动中的抖动；另有一些同步悬臂，本身质量较重，不适合在单边悬浮的机械臂上安装、运行，缺乏光源调整功能，制造成本也偏高。

实用新型内容

本实用新型的目的在于克服现有同步悬臂存在的上述缺陷，提供一种可移动距离长，且在进行移动的同时，可有效防止光源在移动中的抖动，具有光源调整功能，制造成本较低的铬版膜针孔微观缺陷自动检查仪光源同步悬臂。

本实用新型的技术方案是：其包括连接臂杆、上悬臂、下悬臂，上悬臂通过连接臂杆与下悬臂相连，上悬臂与下悬臂相互平行，上悬臂上设有用于与机器人Y轴滑块和微调装置底板固定的F形固定器，以有效防止悬臂前后左右位移，保证悬臂与机器人Y轴运行的同步性；上悬臂和下悬臂两侧安装有加强板，以保证上悬臂和下悬臂之间的平行度和上下悬臂的线性度，防止安装在下悬臂上的点光源在移动中发生抖动；下悬臂与CCD(电荷耦合器)成像系统相应的位置设有光源固定块，所述光源固定块上设有光源位置限定螺钉；下悬臂靠近右端处设有用于安装另一光源的直线滑轨，所述直线滑轨上也设有光源固定块，所述光源固定块上也设有光源位置限定螺钉，通过两个光源位置限定螺钉可以分别固定两个光源的上下位置；而安装在直线滑轨上的光源，由于可在直线滑轨上滑动，因而其位置可以左右调整；下悬臂右端设有限位块，用于防止直线轴承脱落。

连接臂杆、上悬臂和下悬臂选用方形结构，以提高抗扭曲能力。

本实用新型可移动距离长(可达500mm)，且可以有效保证与CCD的同步，克服了Robot(机器人)移动中的光源晃动问题；安装在悬臂上的光源位置可以微调，为针孔检测设备微小缺陷检查和多种产品规格兼容提供了有效保障；抗扭曲能力，结构简单，制造成本较低。

附图说明

图1为本实用新型一实施例的主视图；

图2为图1所示实施例的俯视图；

图3为图1所示实施例的左视图。

具体实施方式

以下结合附图对本实用新型作进一步说明。

参照附图，本实施例包括方形连接臂杆1、上悬臂3、下悬臂4。上悬臂3通过方形连接臂杆1与下悬臂4相连，上悬臂3与下悬臂4相互平行且上下在同一线上，上悬臂3上设有用于与机器人Y轴滑块和微调装置底板固定的F形固定器2(目的在于有效防止悬臂前后左右位移，保证悬臂与机器人Y轴运行的同步性)；上悬臂3和下悬臂4两侧安装有加强板5，以保证上悬臂3和下悬臂4之间的平行度和上下悬臂的线性度，防止安装在下悬臂4上的点光源在移动中发生抖动；下悬臂4与CCD成像系统相应的位置设有光源固定块I 7-1，光源固定块I 7-1上设有光源位置限定螺钉I 9-1；下悬臂4靠近右端处设有用于安装另一光源的直线滑轨6，直线滑轨6上设有光源固定块II 7-2，光源固定块II 7-2上设有光源位置限定螺钉II 9-2，通过光源位置限定螺钉I 9-1、光源位置限定螺钉II 9-2可以分别固定两个光源I 8-1、光源II 8-2的上下位置；而安装在直线滑轨6上的光源，由于可在直线滑轨6上滑行，因而位置可左右调整；下悬臂4最右端设有限位块10，用于防止直线轴承脱落。