[实用新型]硅片双面光刻用模具

摘要

本实用新型所公开的是一种硅片双面光刻用模具，包括第一、二透光基准板，以其还包括第一、第二模块；所述第一模块和第二模块，通过铰接副相互铰接，且通过扣合副相互扣合；第一模块和第二模块，分别设有相互对称布置的第一沉孔和第二沉孔；第一模块和第二模块两者的对合面上，且分别沿第一沉孔和第二沉孔的周边部位，至少设有2个用来容置紧定螺钉的第三沉孔和第四沉孔，在所述第三沉孔和第四沉孔的底面，设有与所述紧定螺钉相拧合的螺孔，且所述紧定螺钉的螺钉头，可分别与第一透光基准板和第二透光基准板的相压接为主要特征；具有结构合理，操作方便，能够在单面光刻机上进行双面光刻等优点。

主权项

一种硅片双面光刻用模具，包括第一透光基准板(1)和第二透光基准板(2)，其特征在于：还包括第一模块(3)和第二模块(4)；第一模块(3)和第二模块(4)相对合；在第一模块(3)和第二模块(4)的对合面上，分别设有相互对称布置的可容置第一透光基准板(1)和第二透光基准板(2)的第一沉孔(3-1)和第二沉孔(4-1)；所述第一沉孔(3-1)和第二沉孔(4-1)的深度，分别等于第一透光基准板(1)的厚度加上硅片1/2厚度之和；和第二透光基准板(2)的厚度加上硅片1/2厚度之和；第一模块(3)和第二模块(4)分别有第一透光通孔(3-2)和第二透光通孔(4-2)，且第一透光通孔(3-2)和第二透光通孔(4-2)，分别小于第一沉孔(3-1)和第二沉孔(4-1)；所述第一模块(3)和第二模块(4)两者的一侧，通过铰接副(5)相互铰接，而两者的另一侧通过扣合副(6)相互扣合；第一模块(3)和第二模块(4)两者的对合面上，且分别沿第一沉孔(3-1)和第二沉孔(4-1)的周边，至少设有2个用来容置紧定螺钉(7)，且其深度大于紧定螺钉(7)的螺钉头长度的第三沉孔(8)和第四沉孔(9)；在所述第三沉孔(8)和第四沉孔(9)的底面，设有与所述紧定螺钉(7)相拧合的螺孔(10)，且所述紧定螺钉(7)的螺钉头，可分别与第一透光基准板(3)和第二透光基准板(4)相压接。