[实用新型]硅片双面光刻用模具

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种硅片在光刻过程中的模具，具体涉及一种硅片双面光刻用模具。

背景技术

在硅片制备过程中，往往需要对硅片进行双面光刻。现有的双面光刻工艺可通过双面光刻机直接进行光刻，而双面光刻机的价格非常昂贵，使得硅片的光刻工艺生产成本较高。

发明内容

本实用新型的目的是：提供一种不仅结构简单、而且操作方便，能够在单面光刻机进行双面光刻，且光刻工艺生产成本较低的硅片双面光刻用模具。

为了达到上述目的，本实用新型的技术方案是：一种硅片双面光刻用模具，包括第一透光基准板和第二透光基准板，其创新点在于：还包括第一模块和第二模块；第一模块和第二模块相对合；在第一模块和第二模块的对合面上，分别设有相互对称布置的可容置第一透光基准板和第二透光基准板的第一沉孔和第二沉孔；所述第一沉孔和第二沉孔的深度，分别等于第一透光基准板的厚度加上硅片1/2厚度之和；和第二透光基准板的厚度加上硅片1/2厚度之和；第一模块和第二模块分别有第一透光通孔和第二透光通孔，且第一透光通孔和第二透光通孔，分别小于第一沉孔和第二沉孔；所述第一模块和第二模块两者的一侧，通过铰接副相互铰接，而两者的另一侧通过扣合副相互扣合；第一模块和第二模块两者的对合面上，且分别沿第一沉孔和第二沉孔的周边，至少设有2个用来容置紧定螺钉，且其深度大于紧定螺钉的螺钉头长度的第三沉孔和第四沉孔；在所述第三沉孔和第四沉孔的底面，设有与所述紧定螺钉目拧合的螺孔，且所述紧定螺钉的螺钉头，可分别与第一透光基准板和第二透光基准板相压接，从而令第一透光基准板和第二透光基准板，分别定置且相互对位于第一沉孔和第二沉孔。

在第一模块所设的第一沉孔和第二模块所设的第二沉孔，分别与第一透光基准板和第二透光基准板装配精度差，而有可能造成第一透光基准板和第二透光基准板需要调整定位的条件下，上述硅片双面光刻用模具中，还包括分别设在第一模块和第二模块上的用来调整第一透光基准板和第二透光基准板所设的光刻图纹相互重影的图纹调整组件；所述图纹调整组件，包括2组每组2个调整螺钉，和2组每组2个由弹簧和螺钉组成的弹性调整螺钉组件，且每组2个调整螺钉和每组2个弹性调整螺钉组件，分别相对布置在第一沉孔和第二沉孔的两侧，且分别与第一透光基准板和第二透光基准板相抵接。由于弹性调整螺钉组件的存在，可以避免所述透光基准板的破损。

上述硅片双面光刻用模具中，所述扣合副包括分别与第一模块和第二模块连接的扣合座、扣合杆、弹簧和垫片；扣合杆的一端，与第一模块的扣合座或第二模块的扣合座铰接，弹簧和垫片套装在扣合杆上，且弹簧的一端与扣合杆把手相抵接，而其另一端与垫片相抵接；扣合杆的长度，大于第一模块的扣合座与第二模块的扣合座两者之间的距离.这一技术方案，属于弹性扣合技术.其目的在于，可有效避免硅片的受损甚至造成破裂.

上述硅片双面光刻用模具中，还包括用来扣压第一透光基准板和第二透光基准板的弹性垫块；所述弹性垫块套装在所述紧定螺钉的螺杆上；所述紧定螺钉通过弹性垫块，将第一基准板和第二基准板，分别定置在第一沉孔和第二沉孔内。由于弹性垫块例如橡胶垫块或铜片垫块的存在，可以有效避免损伤所述透光基准板。

上述硅片双面光刻用模具中，所述第一模块所设的第一透光通孔，和第二模块所设的第二透光通孔，均为锥形通孔；且所述锥形通孔的小口径端，分别与第一沉孔和第二沉孔相贯通。以进一步提高透光强度。

本实用新型所具有的积极效果是：在其使用时，可将需要光刻的硅片放在第一透光基准板和第二透光基准板之间，且通过扣合副将第一模块与第二模块相互扣合，然后本实用新型放入单面光刻机的光刻平台上，进行硅片第一次单面光刻，完成后翻转，进行硅片第二次单面光刻，即对硅片完成了双面光刻工艺。这一结构，不仅结构简单，而且操作方便，因而能够实现在单面光刻机上进行双面光刻的目的，从而降低了硅片光刻工艺的生产成本。

附图说明

图1是本实用新型一种具体实施方式的结构示意图(扣合状态)；

图2是图1的打开状态图，图中所示第一沉孔3-1和第二沉孔4-1，均为四边形；

图3是图2的A-A剖视图。

具体实施方式

以下结合附图，通过具体实施例的描述，对本实用新型作进一步的说明。

实施例1